SiC कोटिंग हा रासायनिक वाष्प संचय (CVD) प्रक्रियेद्वारे ससेप्टरवर एक पातळ थर असतो. सिलिकॉन कार्बाइड मटेरियल सिलिकॉनवर अनेक फायदे प्रदान करते, ज्यामध्ये 10x ब्रेकडाउन इलेक्ट्रिक फील्ड स्ट्रेंथ, 3x द बँड गॅप, जे सामग्रीला उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिकार, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध तसेच थर्मल चालकता प्रदान करते.
सेमीकोरेक्स सानुकूलित सेवा प्रदान करते, जास्त काळ टिकणारे घटक, सायकल वेळ कमी आणि उत्पन्न सुधारण्यासाठी तुम्हाला नवनवीन करण्यात मदत करते.
SiC कोटिंगचे अनेक अद्वितीय फायदे आहेत
उच्च तापमान प्रतिकार: CVD SiC कोटेड ससेप्टर लक्षणीय थर्मल ऱ्हास न होता 1600°C पर्यंत उच्च तापमानाचा सामना करू शकतो.
रासायनिक प्रतिकार: सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग आम्ल, अल्कली आणि सेंद्रिय सॉल्व्हेंट्ससह विस्तृत रसायनांना उत्कृष्ट प्रतिकार प्रदान करते.
पोशाख प्रतिरोध: SiC कोटिंग उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोधासह सामग्री प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च झीज झालेल्या अनुप्रयोगांसाठी योग्य बनते.
थर्मल चालकता: CVD SiC कोटिंग उच्च थर्मल चालकता असलेली सामग्री प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च-तापमान अनुप्रयोगांमध्ये वापरण्यासाठी योग्य बनते ज्यासाठी कार्यक्षम उष्णता हस्तांतरण आवश्यक असते.
उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा: सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टर सामग्रीला उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा प्रदान करते, जे उच्च यांत्रिक शक्ती आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी योग्य बनवते.
SiC कोटिंग विविध अनुप्रयोगांमध्ये वापरली जाते
LED उत्पादन: CVD SiC कोटेड ससेप्टरचा वापर त्याच्या उच्च थर्मल चालकता आणि रासायनिक प्रतिकारामुळे, निळा आणि हिरवा LED, UV LED आणि deep-UV LED यासह विविध प्रकारच्या LED प्रक्रिया केलेल्या उत्पादनात केला जातो.
मोबाइल कम्युनिकेशन: GaN-on-SiC एपिटॅक्सियल प्रक्रिया पूर्ण करण्यासाठी CVD SiC कोटेड ससेप्टर हा HEMT चा एक महत्त्वाचा भाग आहे.
सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग: CVD SiC कोटेड ससेप्टरचा वापर सेमीकंडक्टर उद्योगात वेफर प्रोसेसिंग आणि एपिटॅक्सियल ग्रोथसह विविध अनुप्रयोगांसाठी केला जातो.
SiC लेपित ग्रेफाइट घटक
सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग (SiC) ग्रेफाइटद्वारे बनविलेले, उच्च घनतेच्या ग्रेफाइटच्या विशिष्ट ग्रेडवर CVD पद्धतीने कोटिंग लागू केले जाते, त्यामुळे ते अक्रिय वातावरणात 3000 °C पेक्षा जास्त तापमान असलेल्या भट्टीत, 2200°C व्हॅक्यूममध्ये कार्य करू शकते. .
विशेष गुणधर्म आणि सामग्रीचे कमी वस्तुमान जलद गरम दर, एकसमान तापमान वितरण आणि नियंत्रणात उत्कृष्ट अचूकता देते.
सेमिकोरेक्स SiC कोटिंगचा मटेरियल डेटा
वैशिष्ट्यपूर्ण गुणधर्म |
युनिट्स |
मूल्ये |
रचना |
|
FCC β फेज |
अभिमुखता |
अपूर्णांक (%) |
111 ला प्राधान्य दिले |
मोठ्या प्रमाणात घनता |
g/cm³ |
3.21 |
कडकपणा |
विकर्स कडकपणा |
2500 |
उष्णता क्षमता |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
थर्मल विस्तार 100â600 °C (212â1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300â) |
430 |
धान्य आकार |
μm |
२~१० |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल सामर्थ्य |
MPa (RT 4-पॉइंट) |
415 |
औष्मिक प्रवाहकता |
(W/mK) |
300 |
निष्कर्ष CVD SiC कोटेड ससेप्टर ही एक संमिश्र सामग्री आहे जी ससेप्टर आणि सिलिकॉन कार्बाइडचे गुणधर्म एकत्र करते. या सामग्रीमध्ये उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिकार, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध, उच्च थर्मल चालकता आणि उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा यासह अद्वितीय गुणधर्म आहेत. हे गुणधर्म सेमीकंडक्टर प्रक्रिया, रासायनिक प्रक्रिया, उष्णता उपचार, सौर सेल उत्पादन आणि एलईडी उत्पादनासह विविध उच्च-तापमान अनुप्रयोगांसाठी एक आकर्षक सामग्री बनवतात.
सेमीकोरेक्स SiC पार्ट्स अब्डेक सेगमेंटेन, सेमीकंडक्टर उपकरण उत्पादनातील एक महत्त्वपूर्ण घटक जो अचूकता आणि टिकाऊपणा पुन्हा परिभाषित करतो. SiC कोटेड ग्रेफाइटपासून तयार केलेले, हे छोटे परंतु आवश्यक भाग सेमीकंडक्टर प्रक्रियेला कार्यक्षमता आणि विश्वासार्हतेच्या नवीन स्तरांवर पुढे नेण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावतात.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स प्लॅनेटरी डिस्क, सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर किंवा वाहक मेटल-ऑरगॅनिक केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (MOCVD) फर्नेसमध्ये आण्विक बीम एपिटॅक्सी (MBE) प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेले. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाआमच्या अत्याधुनिक CVD SiC पॅनकेक ससेप्टरसह सेमीकंडक्टर उत्पादनात अचूकतेचे शिखर उघड करा. हा डिस्क-आकाराचा घटक, सेमीकंडक्टर उपकरणांसाठी कुशलतेने डिझाइन केलेला, उच्च-तापमान एपिटॅक्सियल डिपॉझिशन प्रक्रियेदरम्यान पातळ अर्धसंवाहक वेफर्सला आधार देण्यासाठी एक महत्त्वपूर्ण घटक म्हणून काम करतो. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाSemicorex SiC हीटर सिलिकॉन कार्बाइड हीटिंग एलिमेंट्स, हे सेमीकंडक्टर वेफर्सच्या हाताळणी आणि प्रक्रियेसाठी वापरले जाणारे एक विशेष साधन आहे. उच्च-गुणवत्तेच्या सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मितीसाठी आवश्यक इष्टतम थर्मल वातावरण तयार करण्यात उपकरणांचा हा महत्त्वपूर्ण भाग महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावतो. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाSemicorex CVD SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर, हे सेमीकंडक्टर वेफर्सच्या हाताळणी आणि प्रक्रियेसाठी वापरले जाणारे एक विशेष साधन आहे. तापमान आणि भौतिक गुणधर्मांवर तंतोतंत नियंत्रणासह पातळ फिल्म्स, एपिटॅक्सियल लेयर आणि सब्सट्रेट्सवरील इतर कोटिंग्सची वाढ सुलभ करण्यात ससेप्टर महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमिकोरेक्स SiC हीटिंग एलिमेंट हीटर फिलामेंट SiC रॉड्स, हे सेमीकंडक्टर वेफर्सच्या हाताळणी आणि प्रक्रियेसाठी वापरले जाणारे एक विशेष साधन आहे. उच्च-गुणवत्तेच्या सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मितीसाठी आवश्यक इष्टतम थर्मल वातावरण तयार करण्यात उपकरणांचा हा महत्त्वपूर्ण भाग महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावतो. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवा