SiC कोटिंग हा रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) प्रक्रियेद्वारे ससेप्टरवर एक पातळ थर असतो. सिलिकॉन कार्बाइड मटेरियल सिलिकॉनवर अनेक फायदे प्रदान करते, ज्यामध्ये 10x ब्रेकडाउन इलेक्ट्रिक फील्ड स्ट्रेंथ, 3x द बँड गॅप, जे सामग्रीला उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिकार, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध तसेच थर्मल चालकता प्रदान करते.
सेमीकोरेक्स सानुकूलित सेवा प्रदान करते, जास्त काळ टिकणारे घटक, सायकलचा कालावधी कमी आणि उत्पन्न सुधारण्यासाठी तुम्हाला नवनिर्मिती करण्यात मदत करते.
SiC कोटिंगचे अनेक अद्वितीय फायदे आहेत
उच्च तापमान प्रतिकार: CVD SiC कोटेड ससेप्टर लक्षणीय थर्मल ऱ्हास न करता 1600°C पर्यंत उच्च तापमानाचा सामना करू शकतो.
रासायनिक प्रतिकार: सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग आम्ल, अल्कली आणि सेंद्रिय सॉल्व्हेंट्ससह विस्तृत रसायनांना उत्कृष्ट प्रतिकार प्रदान करते.
पोशाख प्रतिरोध: SiC कोटिंग उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोधासह सामग्री प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च झीज आणि झीज असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी योग्य बनते.
थर्मल चालकता: CVD SiC कोटिंग उच्च थर्मल चालकता असलेली सामग्री प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च-तापमान अनुप्रयोगांमध्ये वापरण्यासाठी योग्य बनते ज्यासाठी कार्यक्षम उष्णता हस्तांतरण आवश्यक असते.
उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा: सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टर सामग्रीला उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च यांत्रिक शक्ती आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी योग्य बनते.
SiC कोटिंग विविध अनुप्रयोगांमध्ये वापरली जाते
LED उत्पादन: CVD SiC कोटेड ससेप्टरचा वापर त्याच्या उच्च थर्मल चालकता आणि रासायनिक प्रतिकारामुळे, निळ्या आणि हिरव्या एलईडी, UV LED आणि खोल-UV LED सह विविध प्रकारच्या LED प्रक्रिया केलेल्या उत्पादनात केला जातो.
मोबाइल कम्युनिकेशन: GaN-on-SiC एपिटॅक्सियल प्रक्रिया पूर्ण करण्यासाठी CVD SiC कोटेड ससेप्टर हा HEMT चा एक महत्त्वाचा भाग आहे.
सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग: CVD SiC कोटेड ससेप्टरचा वापर सेमीकंडक्टर उद्योगात वेफर प्रोसेसिंग आणि एपिटॅक्सियल ग्रोथसह विविध अनुप्रयोगांसाठी केला जातो.
SiC लेपित ग्रेफाइट घटक
सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग (SiC) ग्रेफाइटद्वारे बनविलेले, कोटिंग सीव्हीडी पद्धतीने उच्च घनतेच्या ग्रेफाइटच्या विशिष्ट ग्रेडवर लागू केले जाते, त्यामुळे ते अक्रिय वातावरणात 3000 डिग्री सेल्सियसपेक्षा जास्त तापमान असलेल्या भट्टीत, व्हॅक्यूममध्ये 2200 डिग्री सेल्सियस काम करू शकते. .
विशेष गुणधर्म आणि सामग्रीचे कमी वस्तुमान जलद गरम दर, एकसमान तापमान वितरण आणि नियंत्रणात उत्कृष्ट अचूकता देते.
सेमिकोरेक्स SiC कोटिंगचा मटेरियल डेटा
वैशिष्ट्यपूर्ण गुणधर्म |
युनिट्स |
मूल्ये |
रचना |
|
FCC β फेज |
अभिमुखता |
अपूर्णांक (%) |
111 ला प्राधान्य दिले |
मोठ्या प्रमाणात घनता |
g/cm³ |
3.21 |
कडकपणा |
विकर्स कडकपणा |
2500 |
उष्णता क्षमता |
J kg-1 K-1 |
640 |
थर्मल विस्तार 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300℃) |
430 |
धान्य आकार |
μm |
२~१० |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल सामर्थ्य |
MPa (RT 4-पॉइंट) |
415 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
निष्कर्ष CVD SiC कोटेड ससेप्टर ही एक संमिश्र सामग्री आहे जी ससेप्टर आणि सिलिकॉन कार्बाइडचे गुणधर्म एकत्र करते. या सामग्रीमध्ये उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिकार, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध, उच्च थर्मल चालकता आणि उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा यासह अद्वितीय गुणधर्म आहेत. हे गुणधर्म सेमीकंडक्टर प्रक्रिया, रासायनिक प्रक्रिया, उष्णता उपचार, सौर सेल उत्पादन आणि एलईडी उत्पादनासह विविध उच्च-तापमान अनुप्रयोगांसाठी एक आकर्षक सामग्री बनवतात.
Semicorex GaN-on-Si Epi Wafer Chuck हा एक अचूक-इंजिनीयर्ड सब्सट्रेट होल्डर आहे जो विशेषतः सिलिकॉन एपिटॅक्सियल वेफर्सवर गॅलियम नायट्राइड हाताळण्यासाठी आणि प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेला आहे. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाMOCVD साठी सेमीकोरेक्स SiC वेफर ससेप्टर्स हे अचूक आणि नावीन्यपूर्ण प्रतिरूप आहेत, विशेषत: वेफर्सवर सेमीकंडक्टर सामग्रीचे एपिटॅक्सियल डिपॉझिशन सुलभ करण्यासाठी तयार केले गेले आहेत. प्लेट्सचे उत्कृष्ट भौतिक गुणधर्म त्यांना उच्च तापमान आणि संक्षारक वातावरणासह एपिटॅक्सियल वाढीच्या कठोर परिस्थितीचा सामना करण्यास सक्षम करतात, ज्यामुळे ते उच्च-परिशुद्धता सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी अपरिहार्य बनतात. आम्ही Semicorex येथे MOCVD साठी उच्च-कार्यक्षमता असलेल्या SiC वेफर ससेप्टर्सचे उत्पादन आणि पुरवठा करण्यासाठी समर्पित आहोत जे किमती-कार्यक्षमतेसह गुणवत्ता जोडतात.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाएपिटॅक्सियल ग्रोथ सिस्टीमचा अविभाज्य भाग असलेल्या SiC कोटिंगसह सेमीकोरेक्स वेफर कॅरियर्स, त्याच्या अपवादात्मक शुद्धता, अति तापमानाला प्रतिकार आणि मजबूत सीलिंग गुणधर्मांद्वारे ओळखले जातात, जे ट्रे म्हणून काम करतात जे सेमीकंडक्टर वेफर्सच्या समर्थनासाठी आणि गरम करण्यासाठी आवश्यक असतात. एपिटॅक्सियल लेयर डिपॉझिशनचा गंभीर टप्पा, ज्यामुळे MOCVD प्रक्रियेची एकूण कामगिरी अनुकूल होते. आम्ही Semicorex येथे SiC कोटिंगसह उच्च-कार्यक्षमता वेफर वाहक उत्पादन आणि पुरवठा करण्यासाठी समर्पित आहोत जे किमती-कार्यक्षमतेसह गुणवत्ता जोडतात.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाSemicorex GaN Epitaxy वाहक सेमीकंडक्टर उत्पादनात, प्रगत साहित्य आणि अचूक अभियांत्रिकी एकत्रित करण्यात महत्त्वपूर्ण आहे. त्याच्या CVD SiC कोटिंगद्वारे ओळखले जाणारे, हे वाहक अपवादात्मक टिकाऊपणा, थर्मल कार्यक्षमता आणि संरक्षणात्मक क्षमता प्रदान करते, ज्यामुळे स्वतःला उद्योगात एक उत्कृष्ट म्हणून स्थापित केले जाते. आम्ही Semicorex येथे उच्च-कार्यक्षमता GaN Epitaxy वाहक निर्मिती आणि पुरवठा करण्यासाठी समर्पित आहोत जे किमती-कार्यक्षमतेसह गुणवत्तेला जोडते.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स SiC-कोटेड वेफर डिस्क सेमीकंडक्टर उत्पादन तंत्रज्ञानातील एक अग्रगण्य प्रगती दर्शवते, जे सेमीकंडक्टर बनवण्याच्या जटिल प्रक्रियेत आवश्यक भूमिका बजावते. सूक्ष्म अचूकतेसह अभियंता असलेली, ही डिस्क उत्कृष्ट SiC-कोटेड ग्रेफाइटपासून तयार केली गेली आहे, सिलिकॉन एपिटॅक्सी अनुप्रयोगांसाठी उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन आणि टिकाऊपणा प्रदान करते. आम्ही Semicorex येथे उच्च-कार्यक्षमता असलेल्या SiC-कोटेड वेफर डिस्कचे उत्पादन आणि पुरवठा करण्यासाठी समर्पित आहोत जे किमती-कार्यक्षमतेसह गुणवत्तेला जोडते.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स SiC वेफर ट्रे ही मेटल-ऑरगॅनिक केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (MOCVD) प्रक्रियेतील एक महत्त्वाची संपत्ती आहे, जे एपिटॅक्सियल लेयर डिपॉझिशनच्या आवश्यक टप्प्यात सेमीकंडक्टर वेफर्सला समर्थन देण्यासाठी आणि गरम करण्यासाठी काळजीपूर्वक डिझाइन केलेले आहे. हा ट्रे सेमीकंडक्टर उपकरण निर्मितीसाठी अविभाज्य आहे, जेथे स्तर वाढीची अचूकता अत्यंत महत्त्वाची आहे. आम्ही Semicorex येथे उच्च-कार्यक्षमता असलेल्या SiC वेफर ट्रेचे उत्पादन आणि पुरवठा करण्यासाठी समर्पित आहोत जे किमती-कार्यक्षमतेसह गुणवत्तेला जोडते.
पुढे वाचाचौकशी पाठवा