SiC कोटिंग हा रासायनिक वाष्प संचय (CVD) प्रक्रियेद्वारे ससेप्टरवर एक पातळ थर असतो. सिलिकॉन कार्बाइड मटेरियल सिलिकॉनवर अनेक फायदे प्रदान करते, ज्यामध्ये 10x ब्रेकडाउन इलेक्ट्रिक फील्ड स्ट्रेंथ, 3x द बँड गॅप, जे सामग्रीला उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिकार, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध तसेच थर्मल चालकता प्रदान करते.
सेमीकोरेक्स सानुकूलित सेवा प्रदान करते, जास्त काळ टिकणारे घटक, सायकल वेळ कमी आणि उत्पन्न सुधारण्यासाठी तुम्हाला नवनवीन करण्यात मदत करते.
SiC कोटिंगचे अनेक अद्वितीय फायदे आहेत
उच्च तापमान प्रतिकार: CVD SiC कोटेड ससेप्टर लक्षणीय थर्मल ऱ्हास न होता 1600°C पर्यंत उच्च तापमानाचा सामना करू शकतो.
रासायनिक प्रतिकार: सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग आम्ल, अल्कली आणि सेंद्रिय सॉल्व्हेंट्ससह विस्तृत रसायनांना उत्कृष्ट प्रतिकार प्रदान करते.
पोशाख प्रतिरोध: SiC कोटिंग उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोधासह सामग्री प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च झीज झालेल्या अनुप्रयोगांसाठी योग्य बनते.
थर्मल चालकता: CVD SiC कोटिंग उच्च थर्मल चालकता असलेली सामग्री प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च-तापमान अनुप्रयोगांमध्ये वापरण्यासाठी योग्य बनते ज्यासाठी कार्यक्षम उष्णता हस्तांतरण आवश्यक असते.
उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा: सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टर सामग्रीला उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा प्रदान करते, जे उच्च यांत्रिक शक्ती आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी योग्य बनवते.
SiC कोटिंग विविध अनुप्रयोगांमध्ये वापरली जाते
LED उत्पादन: CVD SiC कोटेड ससेप्टरचा वापर त्याच्या उच्च थर्मल चालकता आणि रासायनिक प्रतिकारामुळे, निळा आणि हिरवा LED, UV LED आणि deep-UV LED यासह विविध प्रकारच्या LED प्रक्रिया केलेल्या उत्पादनात केला जातो.
मोबाइल कम्युनिकेशन: GaN-on-SiC एपिटॅक्सियल प्रक्रिया पूर्ण करण्यासाठी CVD SiC कोटेड ससेप्टर हा HEMT चा एक महत्त्वाचा भाग आहे.
सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग: CVD SiC कोटेड ससेप्टरचा वापर सेमीकंडक्टर उद्योगात वेफर प्रोसेसिंग आणि एपिटॅक्सियल ग्रोथसह विविध अनुप्रयोगांसाठी केला जातो.
SiC लेपित ग्रेफाइट घटक
सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग (SiC) ग्रेफाइटद्वारे बनविलेले, उच्च घनतेच्या ग्रेफाइटच्या विशिष्ट ग्रेडवर CVD पद्धतीने कोटिंग लागू केले जाते, त्यामुळे ते अक्रिय वातावरणात 3000 °C पेक्षा जास्त तापमान असलेल्या भट्टीत, 2200°C व्हॅक्यूममध्ये कार्य करू शकते. .
विशेष गुणधर्म आणि सामग्रीचे कमी वस्तुमान जलद गरम दर, एकसमान तापमान वितरण आणि नियंत्रणात उत्कृष्ट अचूकता देते.
सेमिकोरेक्स SiC कोटिंगचा मटेरियल डेटा
वैशिष्ट्यपूर्ण गुणधर्म |
युनिट्स |
मूल्ये |
रचना |
|
FCC β फेज |
अभिमुखता |
अपूर्णांक (%) |
111 ला प्राधान्य दिले |
मोठ्या प्रमाणात घनता |
g/cm³ |
3.21 |
कडकपणा |
विकर्स कडकपणा |
2500 |
उष्णता क्षमता |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
थर्मल विस्तार 100â600 °C (212â1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300â) |
430 |
धान्य आकार |
μm |
२~१० |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल सामर्थ्य |
MPa (RT 4-पॉइंट) |
415 |
औष्मिक प्रवाहकता |
(W/mK) |
300 |
निष्कर्ष CVD SiC कोटेड ससेप्टर ही एक संमिश्र सामग्री आहे जी ससेप्टर आणि सिलिकॉन कार्बाइडचे गुणधर्म एकत्र करते. या सामग्रीमध्ये उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिकार, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध, उच्च थर्मल चालकता आणि उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा यासह अद्वितीय गुणधर्म आहेत. हे गुणधर्म सेमीकंडक्टर प्रक्रिया, रासायनिक प्रक्रिया, उष्णता उपचार, सौर सेल उत्पादन आणि एलईडी उत्पादनासह विविध उच्च-तापमान अनुप्रयोगांसाठी एक आकर्षक सामग्री बनवतात.
Semicorex MOCVD SiC Coated Graphite Susceptor हा एक प्रगत आणि विशेष घटक आहे जो मेटल-ऑरगॅनिक केमिकल वाष्प निक्षेप प्रक्रियेमध्ये वापरला जातो, जो सेमीकंडक्टर, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणे आणि इतर प्रगत सामग्रीच्या उत्पादनातील एक महत्त्वपूर्ण तंत्र आहे. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स ससेप्टर सेमीकंडक्टर, एक क्रांतिकारी ग्रेफाइट ससेप्टर, तुमच्या सेमीकंडक्टर उत्पादनाला नवीन उंचीवर नेण्यासाठी काळजीपूर्वक तयार केले आहे. सुस्पष्टता आणि नावीन्यपूर्ण अभियांत्रिकी, या ससेप्टरमध्ये CVD SiC कोटिंग आहे जे त्याला उद्योगात वेगळे करते. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स ससेप्टर प्लेट हा एपिटॅक्सियल ग्रोथ प्रक्रियेतील एक महत्त्वाचा घटक आहे, विशेषत: पातळ फिल्म्स किंवा लेयर्सच्या डिपॉझिशन दरम्यान सेमीकंडक्टर वेफर्स वाहून नेण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स ससेप्टर विथ ग्रिड हा एक विशेष घटक आहे जो सेमीकंडक्टर वेफर्सच्या एपिटॅक्सियल वाढ प्रक्रियेत वापरला जातो. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमिकोरेक्स रिंग सेटसह तुमच्या सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल प्रक्रियेची पूर्ण क्षमता अनलॉक करा – एक महत्त्वपूर्ण घटक जो SiC-कोटेड ग्रेफाइटपासून तयार केला गेला आहे. तुमच्या एपिटॅक्सियल वाढीची कार्यक्षमता आणि विश्वासार्हता वाढवण्यासाठी डिझाइन केलेले, हे छोटे परंतु शक्तिशाली ऍक्सेसरी सेमीकंडक्टर उत्पादन वातावरणात इष्टतम कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करण्यात महत्त्वाची भूमिका बजावते.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमिकोरेक्स अत्याधुनिक Epi प्री हीट रिंगसह तुमच्या सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल प्रक्रियेची कार्यक्षमता आणि अचूकता वाढवा. SiC-कोटेड ग्रेफाइटच्या अचूकतेने तयार केलेली, ही प्रगत अंगठी चेंबरमध्ये प्रवेश करण्यापूर्वी वायू प्री-हीटिंग प्रक्रियेद्वारे तुमची एपिटेक्सियल वाढ अनुकूल करण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते.
पुढे वाचाचौकशी पाठवा