SiC कोटिंग हा रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) प्रक्रियेद्वारे ससेप्टरवर एक पातळ थर असतो. सिलिकॉन कार्बाइड मटेरियल सिलिकॉनवर अनेक फायदे प्रदान करते, ज्यामध्ये 10x ब्रेकडाउन इलेक्ट्रिक फील्ड स्ट्रेंथ, 3x द बँड गॅप, जे सामग्रीला उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिकार, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध तसेच थर्मल चालकता प्रदान करते.
सेमीकोरेक्स सानुकूलित सेवा प्रदान करते, जास्त काळ टिकणारे घटक, सायकलचा कालावधी कमी आणि उत्पन्न सुधारण्यासाठी तुम्हाला नवनिर्मिती करण्यात मदत करते.
SiC कोटिंगचे अनेक अद्वितीय फायदे आहेत
उच्च तापमान प्रतिकार: CVD SiC कोटेड ससेप्टर लक्षणीय थर्मल ऱ्हास न करता 1600°C पर्यंत उच्च तापमानाचा सामना करू शकतो.
रासायनिक प्रतिकार: सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग आम्ल, अल्कली आणि सेंद्रिय सॉल्व्हेंट्ससह विस्तृत रसायनांना उत्कृष्ट प्रतिकार प्रदान करते.
पोशाख प्रतिरोध: SiC कोटिंग उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोधासह सामग्री प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च झीज आणि झीज असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी योग्य बनते.
थर्मल चालकता: CVD SiC कोटिंग उच्च थर्मल चालकता असलेली सामग्री प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च-तापमान अनुप्रयोगांमध्ये वापरण्यासाठी योग्य बनते ज्यासाठी कार्यक्षम उष्णता हस्तांतरण आवश्यक असते.
उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा: सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टर सामग्रीला उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च यांत्रिक शक्ती आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी योग्य बनते.
SiC कोटिंग विविध अनुप्रयोगांमध्ये वापरली जाते
LED उत्पादन: CVD SiC कोटेड ससेप्टरचा वापर त्याच्या उच्च थर्मल चालकता आणि रासायनिक प्रतिकारामुळे, निळ्या आणि हिरव्या एलईडी, UV LED आणि खोल-UV LED सह विविध प्रकारच्या LED प्रक्रिया केलेल्या उत्पादनात केला जातो.
मोबाइल कम्युनिकेशन: GaN-on-SiC एपिटॅक्सियल प्रक्रिया पूर्ण करण्यासाठी CVD SiC कोटेड ससेप्टर हा HEMT चा एक महत्त्वाचा भाग आहे.
सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग: CVD SiC कोटेड ससेप्टरचा वापर सेमीकंडक्टर उद्योगात वेफर प्रोसेसिंग आणि एपिटॅक्सियल ग्रोथसह विविध अनुप्रयोगांसाठी केला जातो.
SiC लेपित ग्रेफाइट घटक
सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग (SiC) ग्रेफाइटद्वारे बनविलेले, कोटिंग सीव्हीडी पद्धतीने उच्च घनतेच्या ग्रेफाइटच्या विशिष्ट ग्रेडवर लागू केले जाते, त्यामुळे ते अक्रिय वातावरणात 3000 डिग्री सेल्सियसपेक्षा जास्त तापमान असलेल्या भट्टीत, व्हॅक्यूममध्ये 2200 डिग्री सेल्सियस काम करू शकते. .
विशेष गुणधर्म आणि सामग्रीचे कमी वस्तुमान जलद गरम दर, एकसमान तापमान वितरण आणि नियंत्रणात उत्कृष्ट अचूकता देते.
सेमिकोरेक्स SiC कोटिंगचा मटेरियल डेटा
वैशिष्ट्यपूर्ण गुणधर्म |
युनिट्स |
मूल्ये |
रचना |
|
FCC β फेज |
अभिमुखता |
अपूर्णांक (%) |
111 ला प्राधान्य दिले |
मोठ्या प्रमाणात घनता |
g/cm³ |
3.21 |
कडकपणा |
विकर्स कडकपणा |
2500 |
उष्णता क्षमता |
J kg-1 K-1 |
640 |
थर्मल विस्तार 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300℃) |
430 |
धान्य आकार |
μm |
२~१० |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल सामर्थ्य |
MPa (RT 4-पॉइंट) |
415 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
निष्कर्ष CVD SiC कोटेड ससेप्टर ही एक संमिश्र सामग्री आहे जी ससेप्टर आणि सिलिकॉन कार्बाइडचे गुणधर्म एकत्र करते. या सामग्रीमध्ये उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिकार, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध, उच्च थर्मल चालकता आणि उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा यासह अद्वितीय गुणधर्म आहेत. हे गुणधर्म सेमीकंडक्टर प्रक्रिया, रासायनिक प्रक्रिया, उष्णता उपचार, सौर सेल उत्पादन आणि एलईडी उत्पादनासह विविध उच्च-तापमान अनुप्रयोगांसाठी एक आकर्षक सामग्री बनवतात.
सेमीकोरेक्समधील एसआयसी एपिटॅक्सियल मॉड्यूल टिकाऊपणा, शुद्धता आणि अचूक अभियांत्रिकी एकत्र करते, जे एसआयसी एपिटॅक्सियल ग्रोथमध्ये एक महत्त्वपूर्ण घटक आहे. लेपित ग्रेफाइट सोल्यूशन्समध्ये अतुलनीय गुणवत्तेसाठी अर्धिकरण आणि मागणीच्या वातावरणात दीर्घकालीन कामगिरी करा.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स अप्पर हाफ मून हा एक अर्ध-ओरखडा एसआयसी लेपित ग्रेफाइट वेफर स्यूससेप्टर आहे जो एपिटॅक्सियल अणुभट्ट्यांमध्ये वापरण्यासाठी डिझाइन केलेला आहे. उद्योग-आघाडीच्या सामग्रीची शुद्धता, सुस्पष्टता मशीनिंग आणि एकसमान एसआयसी कोटिंगसाठी सेमीकोरेक्स निवडा जे दीर्घकाळ टिकणारी कामगिरी आणि उत्कृष्ट वेफर गुणवत्ता सुनिश्चित करते.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स एसआयसी लेपित वेफर कॅरियर उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट सासिसेप्टर्स आहेत सीव्हीडी सिलिकॉन कार्बाईडसह लेपित, उच्च-तापमान सेमीकंडक्टर प्रक्रियेदरम्यान इष्टतम वेफर समर्थनासाठी डिझाइन केलेले. अतुलनीय कोटिंग गुणवत्ता, सुस्पष्टता उत्पादन आणि जगभरातील आघाडीच्या सेमीकंडक्टर फॅब्सद्वारे विश्वास ठेवलेल्या सिद्ध विश्वसनीयतेसाठी सेमीकोरेक्स निवडा.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स एसआयसी लेपित वेफर सासेप्टर्स उच्च-कार्यक्षमता कॅरियर आहेत जे विशेषत: अल्ट्राथिन फिल्म जमा होण्याकरिता डिझाइन केलेले आहेत. प्रगत साहित्य अभियांत्रिकी, अचूक पोर्सिटी कंट्रोल आणि मजबूत एसआयसी कोटिंग तंत्रज्ञानासह, सेमीकोरेक्स पुढील पिढीतील सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या विकसनशील गरजा पूर्ण करण्यासाठी उद्योग-आघाडीची विश्वसनीयता आणि सानुकूलन वितरीत करते.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स 8-इंच वेफरहोल्डर रिंग्ज आक्रमक थर्मल आणि रासायनिक वातावरणात अचूक वेफर फिक्सेशन आणि अपवादात्मक कामगिरी प्रदान करण्यासाठी डिझाइन केल्या आहेत. सेमीकोरेक्स प्रगत सेमीकंडक्टर प्रक्रियेच्या कठोर मागण्या पूर्ण करण्यासाठी अनुप्रयोग-विशिष्ट अभियांत्रिकी, घट्ट मितीय नियंत्रण आणि सातत्याने एसआयसी कोटिंग गुणवत्ता वितरीत करते.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स आरटीपी एसआयसी कोटिंग प्लेट्स वेगवान थर्मल प्रोसेसिंग वातावरणाची मागणी करण्यासाठी वापरण्यासाठी इंजिनियर केलेले उच्च-कार्यक्षमता वेफर कॅरियर आहेत. आघाडीच्या सेमीकंडक्टर उत्पादकांद्वारे विश्वास ठेवलेले, सेमीकोरेक्स कठोर गुणवत्ता मानक आणि अचूक उत्पादनाद्वारे समर्थित उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, टिकाऊपणा आणि दूषित नियंत्रण वितरीत करते.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवा