8. इंच ईपीआय समर्थक

सेमीकोरेक्स 8 इंचाची ईपीआय सासेप्टर हा एक हाय-टेक वेफर सपोर्ट पार्ट आहे जो सेमीकंडक्टरच्या निर्मितीसाठी एपिटॅक्सियल डिपॉझिशन ऑपरेशन्समध्ये वापरला जातो. हे एपिटॅक्सियल अणुभट्ट्यांमध्ये वापरल्या जाणार्‍या सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) च्या जाड, सतत एकसमान थरसह लेपित असलेल्या पुश-इन-प्युर-इन-पेर-इन-पेअर ग्रॅफाइट कोर मटेरियलसह तयार केले जाते जेथे थर्मल स्थिरता, रासायनिक प्रतिकार आणि जमा करण्याचे एकसारखेपणा महत्वाचे आहे. 8 इंचाचा व्यास उपकरणांसाठी उद्योग वैशिष्ट्यांसह प्रमाणित केला जातो जे 200 मिमी वेफर्सवर प्रक्रिया करते आणि म्हणूनच विद्यमान फॅब्रिकेशन मल्टीटास्किंगमध्ये विश्वसनीय एकत्रीकरण प्रदान करते.  

एपिटॅक्सियल ग्रोथला अत्यधिक नियंत्रित थर्मल वातावरण आणि तुलनेने जड साहित्य परस्परसंवाद आवश्यक आहेत. दोन्ही घटनांमध्ये एसआयसी लेपित ग्रेफाइट सकारात्मकपणे सादर केले जाईल. ग्रेफाइट कोरमध्ये खूप उच्च थर्मल चालकता आणि अत्यंत कमी थर्मल विस्तार आहे, म्हणजेच पुरेसे डिझाइन केलेले हीटिंग स्रोत आहे की ग्रेफाइट कोरमधील उष्णता वेगाने हस्तांतरित केली जाऊ शकते आणि वेफरच्या पृष्ठभागावर सातत्याने तापमान ग्रेडियंट्स राखू शकते. एसआयसीचा बाह्य थर प्रभावीपणे संवेदनाक्षमतेच्या बाह्य शेलचा असतो. एसआयसी लेयर उच्च तापमानापासून, हायड्रोजन सारख्या प्रक्रियेच्या वायूची संक्षिप्त उप-उत्पादने, क्लोरीनयुक्त सिलेनचे अत्यंत संक्षिप्त गुणधर्म आणि वारंवार गरम चक्रांमुळे यांत्रिक विनाशामुळे यांत्रिक विनाशापासून संवेदनाक्षम कोरचे संरक्षण करते. एकंदरीत आम्ही असा अंदाज लावू शकतो की जोपर्यंत ही ड्युअल मटेरियल स्ट्रक्चर पुरेशी जाड आहे, तोपर्यंत दीर्घकाळापर्यंत गरम होण्याच्या कालावधीत संवेदनाक्षम दोन्ही यांत्रिकदृष्ट्या योग्य आणि रासायनिकदृष्ट्या जड राहतील. निश्चितपणे, आम्ही संबंधित थर्मल रेंजमध्ये कार्य करताना हे अनुभवात्मकपणे पाहिले आहे आणि एसआयसी लेयर प्रक्रिया आणि ग्राफिक्स कोर दरम्यान एक विश्वासार्ह अडथळा प्रदान करते, जे साधनांच्या सेवेची लांबी वाढविताना उत्पादनाच्या गुणवत्तेसाठी जास्तीत जास्त संधी देते.

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेमध्ये ग्रेफाइट घटकांचा अत्यावश्यक आणि आश्चर्यकारकपणे महत्त्वपूर्ण भाग असतो आणि ग्रॅफाइट मटेरियल गुणवत्ता उत्पादनाच्या कामगिरीमध्ये एक महत्त्वपूर्ण घटक आहे. सेमीकोरेक्समध्ये आमच्या उत्पादन प्रक्रियेच्या प्रत्येक चरणात आमचे कठोर नियंत्रण आहे जेणेकरून आपल्याकडे बॅचपासून बॅचपर्यंत अत्यंत पुनरुत्पादक सामग्री एकसंध आणि सुसंगतता असू शकते. आमच्या लहान बॅच उत्पादन प्रक्रियेसह, आमच्याकडे केवळ 50 क्यूबिक मीटरच्या चेंबरचे प्रमाण असलेले लहान कार्बोनेझेशन फर्नेसेस आहेत, ज्यामुळे आम्हाला उत्पादन प्रक्रियेमध्ये कडक नियंत्रण ठेवता येते. प्रत्येक ग्रेफाइट ब्लॉकमध्ये वैयक्तिक देखरेखीचा समावेश असतो, जो आमच्या प्रक्रियेमध्ये ट्रॅक करण्यायोग्य आहे. भट्टीच्या आत बहु-बिंदू तापमान देखरेखीव्यतिरिक्त, आम्ही भौतिक पृष्ठभागावर तापमानाचा मागोवा घेतो, संपूर्ण उत्पादन प्रक्रियेमध्ये तापमान विचलन कमीतकमी अरुंद श्रेणीमध्ये कमी करतो. थर्मल व्यवस्थापनाकडे आमचे लक्ष आम्हाला अंतर्गत तणाव कमी करण्यास आणि सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगांसाठी अत्यंत स्थिर आणि पुनरुत्पादक ग्रेफाइट घटक तयार करण्यास अनुमती देते.

एसआयसी कोटिंग केमिकल वाष्प जमा (सीव्हीडी) द्वारे लागू केले जाते आणि कण पिढी कमी करणार्‍या बारीक-धान्य मॅट्रिक्ससह एक घन, स्वच्छ तयार पृष्ठभाग तयार करते; आणि म्हणूनच, स्वच्छ सीव्हीडी प्रक्रिया वर्धित केली आहे. लेपित फिल्म जाडीचे सीव्हीडी प्रक्रिया नियंत्रण एकसारखेपणाचे आश्वासन देते आणि थर्मल सायकलिंगद्वारे सपाटपणा आणि आयामी स्थिरतेसाठी महत्त्वपूर्ण आहे. हे शेवटी उत्कृष्ट वेफर प्लॅनॅरिटी प्रदान करते, परिणामी एपिटॅक्सी प्रक्रियेदरम्यान अगदी अगदी थर जमा होते.-पॉवर एमओएसएफईटीएस, आयजीबीटी आणि आरएफ घटकांसारख्या उच्च-कार्यक्षमता अर्धसंवाहक साधने साध्य करण्यासाठी एक महत्त्वाचे पॅरामीटर.

सेमीकोरेक्सद्वारे निर्मित 8 इंचाच्या ईपीआय सिसेप्टरचा मितीय सुसंगतता हा आणखी एक मूलभूत फायदा आहे. संवेदनाक्षमता कठोर सहिष्णुतेसाठी अभियंता आहे ज्यामुळे वेफर हाताळणी रोबोट्स आणि हीटिंग झोनमध्ये सुस्पष्टता फिट होते. संवेदनशील पृष्ठभाग पॉलिश केले जाते आणि विशिष्ट एपिटॅक्सियल अणुभट्टीच्या विशिष्ट थर्मल आणि फ्लो अटींवर सानुकूलित केले जाते ज्यावर संवेदनशील तैनात केले जाईल. पर्याय, उदाहरणार्थ लिफ्ट पिन छिद्र, पॉकेट रेसेस किंवा अँटी-स्लिप पृष्ठभाग सर्व ओईएम टूल डिझाइन आणि प्रक्रियेच्या विशिष्ट आवश्यकतांशी जुळले जाऊ शकतात.

प्रत्येक संवेदनशील उत्पादनादरम्यान थर्मल कामगिरी आणि कोटिंग अखंडता या दोहोंसाठी एकाधिक चाचण्या घेतात. आक्रमक एपिटॅक्सियल वातावरणातही विश्वसनीयता आणि कार्यप्रदर्शन साध्य करण्यासाठी आयामी मोजमाप आणि सत्यापन, कोटिंग आसंजन चाचण्या, थर्मल शॉक प्रतिरोध चाचण्या आणि रासायनिक प्रतिरोध चाचण्या यासह गुणवत्ता नियंत्रण पद्धती लागू केल्या जातात. याचा परिणाम असे उत्पादन आहे जे शेवटी सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशन उद्योगाच्या सध्याच्या मागणीच्या आवश्यकतांची पूर्तता करते आणि त्यापेक्षा जास्त आहे.

सेमीकोरेक्स 8 इंचाची ईपीआय सासेप्टर एसआयसी लेपित ग्रेफाइटपासून बनविली गेली आहे जी औष्णिक चालकता, यांत्रिकी कडकपणा आणि रासायनिक जडत्व संतुलित करते. उच्च-तापमानात स्थिर, स्वच्छ, वेफर समर्थन तयार करण्याच्या यशामुळे उच्च-व्हॉल्यूम एपिटॅक्सी ग्रोथ अनुप्रयोगांसाठी 8 इंचाचा संवेदना करणारा एक महत्त्वाचा घटक आहे ज्यामुळे उच्च-उत्पन्न, उच्च-समानता परिभाषित एपिटॅक्सियल प्रक्रिया होते. ईपीआय सासेप्टरचा 8 इंचाचा आकार सामान्यत: बाजारात मानक 8 इंचाच्या उपकरणांमध्ये दिसतो आणि विद्यमान ग्राहकांच्या उपकरणासह अदलाबदल करण्यायोग्य आहे. त्याच्या मानक कॉन्फिगरेशनमध्ये ईपीआय सासेप्टर अत्यंत सानुकूल आहे.