8 इंच एपीआय टॉप रिंग

सेमीकोरेक्स 8 इंच ईपीआय टॉप रिंग रिएक्शन चेंबरवरील टॉप कव्हर रिंग म्हणून उच्च कार्यक्षमता प्रदान करणार्‍या एपिटॅक्सियल (ईपीआय) जमा प्रणालीचा एक विशेष घटक आहे. सेमीकंडक्टर वेफर्सच्या एपिटॅक्सियल ग्रोथ दरम्यान स्ट्रक्चरल अखंडता आणि थर्मल स्थिरतेवर लक्ष केंद्रित करून, ईपीआय टॉप रिंग उच्च-शुद्धता ग्रेफाइटपासून बनविली जाते आणि सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) सह लेपित असते आणि तापमान आणि सेमिकॉन्डक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या रासायनिक प्रतिक्रियात्मक वातावरणाचा प्रतिकार करण्यासाठी.

एपिटॅक्सियल अणुभट्ट्यांमध्ये, वरची रिंग वेफर वातावरण टिकवून ठेवण्यास मदत करते आणि संवेदनाक्षम असेंब्लीचा भाग म्हणून जमा होण्याच्या दरम्यान तापमान एकरूपता आणि गॅस प्रवाहामध्ये महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते. ग्रॅफाइट सब्सट्रेटवरील एसआयसी कोटिंग ईपीआय टॉप रिंग (हायड्रोजन, सिलेन, क्लोरोसिलेनेस इ.) च्या कामगिरी दरम्यान प्रक्रियेच्या वायूंच्या प्रदर्शनामुळे ग्रॅफाइट कोरचे संरक्षण करण्यासाठी आवश्यक असलेल्या थर्मल स्थिरता आणि जड वातावरणासह ईपीआय टॉप रिंग प्रदान करते. एसआयसी लेयरची कठोरता आणि चालकता ईपीआय टॉप रिंगची कार्यक्षमता वाढवते आणि संपूर्ण उत्पादन चक्रात अधिक स्थिर स्तरांना परवानगी देऊन ईपीआय टॉप रिंगची कार्यक्षमता वाढवते.

मितीय अचूकता, कोटिंगची सुसंगतता आणि पुनरावृत्ती करण्याच्या वचनबद्धतेसह, 8 इंच ईपीआय टॉप रिंग अचूक अभियांत्रिकीसह तयार केली जाते. ग्रेफाइट सब्सट्रेट घट्ट सहिष्णुतेसाठी तयार केले जाते आणि उत्कृष्ट शुद्धता आणि सामर्थ्याने स्वच्छ सब्सट्रेट वितरित करून, अशुद्धी विभक्त करण्यासाठी थर्मली शुद्ध केली जाते. एसआयसी कोटिंग रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी) द्वारे लागू केले जाते, ज्यामुळे दाट, सुसंगत आणि जोरदार बंधनकारक संरक्षणात्मक थर तयार होते. ही प्रक्रिया कण पिढी कमी करते आणि कोटिंगला विस्तारित वापरादरम्यान पृष्ठभागाची अखंडता राखण्यास अनुमती देते.

सेमीकंडक्टर उत्पादक गंभीर चेंबर पॅरामीटर्स राखण्यासाठी आणि उत्पादनादरम्यान दोष-मुक्त वेफर्सला समर्थन देण्यासाठी ईपीआय टॉप रिंगवर अवलंबून असतात. कॉन्फिगरेशन अग्रगण्य OEM 8-इंच वेफर प्रोसेसिंग सिस्टमसह वापरण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. चांगले थर्मल व्यवस्थापन किंवा अगदी गॅस वितरणासाठी जाडी, पृष्ठभाग समाप्त आणि खोदलेल्या डिझाइनसाठी सानुकूल पर्याय उपलब्ध आहेत.

या अनुप्रयोगासाठी एसआयसी लेपित ग्रेफाइटच्या गुणधर्मांचे अनुरुप दोन्ही सामग्रीमधील उत्कृष्ट गुणधर्म एकत्रित करते; ग्रेफाइट खूप मशीन करण्यायोग्य आहे आणि सिलिकॉन कार्बाईडसह एकत्रित थर्मल शॉक प्रतिरोध आहे जो कठोर, गंज प्रतिरोधक आहे आणि यापुढे सेवा आयुष्य आहे. हे संयोजन शेवटी आपल्याला एक ईपीआय टॉप रिंग देते जे उच्च तापमानात विश्वासार्ह आहे आणि स्वच्छ आणि स्थिर प्रक्रिया वातावरणाची हमी देते जे देखभाल अंतर कमी करते आणि एकूणच वर्धित उपकरणे अपटाइम प्रदान करते.

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये ग्रेफाइट घटक अपरिहार्य आणि महत्त्वपूर्ण भूमिका निभावतात. ग्रेफाइट सामग्रीची गुणवत्ता तयार उत्पादनाच्या गुणवत्तेवर लक्षणीय परिणाम करते. आमची ग्रेफाइट बॅच सुसंगतता आणि सामग्री एकसंधपणा संपूर्ण उत्पादन प्रक्रियेमध्ये नियंत्रित आणि हमी दिली जाते.

1. केवळ 50 क्यूबिक मीटर क्षमतेसह लहान कार्बनायझेशन फर्नेस वापरुन लहान-बॅच उत्पादन.

2. सामग्रीच्या प्रत्येक तुकड्याचे परीक्षण केले जाते आणि मागोवा घेतला जातो.

The. भट्टीमधील एकाधिक बिंदूंवर टेम्पेरेचर मॉनिटरिंग कमीतकमी तापमानातील फरक सुनिश्चित करते.

The. सामग्रीवरील एकाधिक बिंदूंवर टेम्पेरेचर मॉनिटरिंग कमीतकमी तापमानातील फरक सुनिश्चित करते.

सेमीकोरेक्सद्वारे 8 इंचाची ईपीआय टॉप रिंग अपवादात्मक कामगिरी, बॅच-टू-बॅच सुसंगतता आणि सर्वात कठीण सेमीकंडक्टर्स सिलिकॉन, सिलिकॉन कार्बाईड किंवा इतर कंपाऊंड सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी प्रक्रियेमध्ये सिद्ध विश्वसनीयता प्रदान करते. प्रत्येक उत्पादन चरणात, आम्ही गुणवत्ता नियंत्रणासह उत्पादने तयार करतो, ज्याचा अर्थ सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी खरेदी केलेले प्रत्येक उत्पादन गुणवत्तेच्या वैशिष्ट्यांपेक्षा जास्त आहे.

अचूक अभियांत्रिकी, उत्कृष्ट साहित्य आणि उत्पादन आणि डिव्हाइस कार्यक्षमता सुधारण्यासाठी अनुप्रयोग-विशिष्ट सानुकूलनाद्वारे ऑफर केलेल्या संभाव्यतेचा फायदा घेण्यासाठी आपल्या एपिटॅक्सी अनुप्रयोगासाठी सेमीकोरेक्सची 8 इंचाची ईपीआय टॉप रिंग निवडा.