SiC कोटिंग हा रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) प्रक्रियेद्वारे ससेप्टरवर एक पातळ थर असतो. सिलिकॉन कार्बाइड मटेरियल सिलिकॉनवर अनेक फायदे प्रदान करते, ज्यामध्ये 10x ब्रेकडाउन इलेक्ट्रिक फील्ड स्ट्रेंथ, 3x द बँड गॅप, जे सामग्रीला उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिकार, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध तसेच थर्मल चालकता प्रदान करते.
सेमीकोरेक्स सानुकूलित सेवा प्रदान करते, जास्त काळ टिकणारे घटक, सायकलचा कालावधी कमी आणि उत्पन्न सुधारण्यासाठी तुम्हाला नवनिर्मिती करण्यात मदत करते.
SiC कोटिंगचे अनेक अद्वितीय फायदे आहेत
उच्च तापमान प्रतिकार: CVD SiC कोटेड ससेप्टर लक्षणीय थर्मल ऱ्हास न करता 1600°C पर्यंत उच्च तापमानाचा सामना करू शकतो.
रासायनिक प्रतिकार: सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग आम्ल, अल्कली आणि सेंद्रिय सॉल्व्हेंट्ससह विस्तृत रसायनांना उत्कृष्ट प्रतिकार प्रदान करते.
पोशाख प्रतिरोध: SiC कोटिंग उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोधासह सामग्री प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च झीज आणि झीज असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी योग्य बनते.
थर्मल चालकता: CVD SiC कोटिंग उच्च थर्मल चालकता असलेली सामग्री प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च-तापमान अनुप्रयोगांमध्ये वापरण्यासाठी योग्य बनते ज्यासाठी कार्यक्षम उष्णता हस्तांतरण आवश्यक असते.
उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा: सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टर सामग्रीला उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च यांत्रिक शक्ती आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी योग्य बनते.
SiC कोटिंग विविध अनुप्रयोगांमध्ये वापरली जाते
LED उत्पादन: CVD SiC कोटेड ससेप्टरचा वापर त्याच्या उच्च थर्मल चालकता आणि रासायनिक प्रतिकारामुळे, निळ्या आणि हिरव्या एलईडी, UV LED आणि खोल-UV LED सह विविध प्रकारच्या LED प्रक्रिया केलेल्या उत्पादनात केला जातो.
मोबाइल कम्युनिकेशन: GaN-on-SiC एपिटॅक्सियल प्रक्रिया पूर्ण करण्यासाठी CVD SiC कोटेड ससेप्टर हा HEMT चा एक महत्त्वाचा भाग आहे.
सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग: CVD SiC कोटेड ससेप्टरचा वापर सेमीकंडक्टर उद्योगात वेफर प्रोसेसिंग आणि एपिटॅक्सियल ग्रोथसह विविध अनुप्रयोगांसाठी केला जातो.
SiC लेपित ग्रेफाइट घटक
सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग (SiC) ग्रेफाइटद्वारे बनविलेले, कोटिंग सीव्हीडी पद्धतीने उच्च घनतेच्या ग्रेफाइटच्या विशिष्ट ग्रेडवर लागू केले जाते, त्यामुळे ते अक्रिय वातावरणात 3000 डिग्री सेल्सियसपेक्षा जास्त तापमान असलेल्या भट्टीत, व्हॅक्यूममध्ये 2200 डिग्री सेल्सियस काम करू शकते. .
विशेष गुणधर्म आणि सामग्रीचे कमी वस्तुमान जलद गरम दर, एकसमान तापमान वितरण आणि नियंत्रणात उत्कृष्ट अचूकता देते.
सेमिकोरेक्स SiC कोटिंगचा मटेरियल डेटा
वैशिष्ट्यपूर्ण गुणधर्म |
युनिट्स |
मूल्ये |
रचना |
|
FCC β फेज |
अभिमुखता |
अपूर्णांक (%) |
111 ला प्राधान्य दिले |
मोठ्या प्रमाणात घनता |
g/cm³ |
3.21 |
कडकपणा |
विकर्स कडकपणा |
2500 |
उष्णता क्षमता |
J kg-1 K-1 |
640 |
थर्मल विस्तार 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300℃) |
430 |
धान्य आकार |
μm |
२~१० |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल सामर्थ्य |
MPa (RT 4-पॉइंट) |
415 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
निष्कर्ष CVD SiC कोटेड ससेप्टर ही एक संमिश्र सामग्री आहे जी ससेप्टर आणि सिलिकॉन कार्बाइडचे गुणधर्म एकत्र करते. या सामग्रीमध्ये उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिकार, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध, उच्च थर्मल चालकता आणि उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा यासह अद्वितीय गुणधर्म आहेत. हे गुणधर्म सेमीकंडक्टर प्रक्रिया, रासायनिक प्रक्रिया, उष्णता उपचार, सौर सेल उत्पादन आणि एलईडी उत्पादनासह विविध उच्च-तापमान अनुप्रयोगांसाठी एक आकर्षक सामग्री बनवतात.
सेमिकोरेक्स ससेप्टर डिस्क हे मेटल-ऑरगॅनिक केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (MOCVD) मधील एक अपरिहार्य साधन आहे, जे विशेषत: एपिटॅक्सियल लेयर डिपॉझिशनच्या गंभीर प्रक्रियेदरम्यान सेमीकंडक्टर वेफर्सला समर्थन देण्यासाठी आणि गरम करण्यासाठी इंजिनियर केलेले आहे. सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मितीमध्ये ससेप्टर डिस्क ही महत्त्वाची भूमिका बजावते, जेथे तंतोतंत स्तर वाढ सर्वोपरि आहे. बाजारातील आघाडीच्या गुणवत्तेसाठी सेमिकोरेक्सची वचनबद्धता, स्पर्धात्मक आथिर्क विचारांशी संलग्न, तुमच्या सेमीकंडक्टर वेफर कन्व्हेयन्सची आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी भागीदारी प्रस्थापित करण्याची आमची उत्सुकता वाढवते.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाएपिटॅक्सियल सिंगल-क्रिस्टल सी प्लेट ग्रेफाइट एपिटॅक्सी आणि वेफर मॅनिप्युलेशनशी संबंधित अनुप्रयोगांसाठी परिष्करण, टिकाऊपणा आणि विश्वासार्हतेचे शिखर अंतर्भूत करते. हे त्याच्या घनता, प्लॅनरिटी आणि थर्मल व्यवस्थापन क्षमतांद्वारे ओळखले जाते, ते कठोर ऑपरेशनल परिस्थितीसाठी इष्टतम निवड म्हणून स्थान देते. बाजारातील आघाडीच्या गुणवत्तेसाठी सेमिकोरेक्सची वचनबद्धता, स्पर्धात्मक आथिर्क विचारांशी संलग्न, तुमच्या सेमीकंडक्टर वेफर कन्व्हेयन्सची आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी भागीदारी प्रस्थापित करण्याची आमची उत्सुकता वाढवते.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासिंगल-क्रिस्टल सिलिकॉन इपी ससेप्टर हा Si-GaN एपिटॅक्सी प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेला एक आवश्यक घटक आहे, जो वैयक्तिक वैशिष्ट्ये आणि प्राधान्यांनुसार तयार केला जाऊ शकतो, विशिष्ट आवश्यकतांनुसार उत्तम प्रकारे संरेखित करणारा एक बेस्पोक सोल्यूशन प्रदान करतो. त्यात परिमाणांमधील बदल किंवा कोटिंगच्या जाडीतील समायोजने असोत, आमच्याकडे विविध प्रक्रिया पॅरामीटर्स सामावून घेणारे उत्पादन डिझाइन आणि वितरित करण्याची क्षमता आहे, ज्यामुळे लक्ष्यित अनुप्रयोगांसाठी कार्यप्रदर्शन ऑप्टिमाइझ होते. बाजारातील आघाडीच्या गुणवत्तेसाठी सेमिकोरेक्सची वचनबद्धता, स्पर्धात्मक आथिर्क विचारांशी संलग्न, तुमच्या सेमीकंडक्टर वेफर कन्व्हेयन्सची आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी भागीदारी प्रस्थापित करण्याची आमची उत्सुकता वाढवते.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाअचूकतेने तयार केलेले आणि विश्वासार्हतेसाठी इंजिनिअर केलेले, SiC Epitaxy ससेप्टरमध्ये उच्च गंज प्रतिरोधकता, उच्च थर्मल चालकता, थर्मल शॉकचा प्रतिकार आणि उच्च रासायनिक स्थिरता आहे, ज्यामुळे ते एपिटॅक्सियल वातावरणात प्रभावीपणे कार्य करण्यास सक्षम करते. त्यामुळे, SiC Epitaxy ससेप्टर आणि एक सह-संवाद मानले जाते. MOCVD उपकरणांमध्ये महत्त्वपूर्ण घटक. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड बोट होल्डर हे एसआयसी मटेरियलपासून तयार केलेले एक विशेष उत्पादन आहे, फोटोव्होल्टेइक, इलेक्ट्रॉनिक्स आणि सेमीकंडक्टर यांसारख्या उद्योगांमधील अनुप्रयोगांसाठी काळजीपूर्वक डिझाइन केलेले आहे. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स सोलर ग्रेफाइट बोट, उच्च-तापमान सेमीकंडक्टर प्रक्रियेच्या अचूक मागण्या पूर्ण करण्यासाठी डिझाइन केलेले एक अचूक-इंजिनीयर्ड वेफर होल्डर. प्रीमियम-ग्रेड ग्रेफाइटपासून तयार केलेली, ही नाविन्यपूर्ण बोट अतुलनीय थर्मल स्थिरता आणि टिकाऊपणा प्रदान करते, अगदी सर्वात जास्त मागणी असलेल्या भट्टीच्या वातावरणात देखील उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करते. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवा