सिलिकॉन कार्बाइड फोकस रिंग

सिलिकॉन कार्बाइड फोकस रिंगइलेक्ट्रोस्टॅटिक चकच्या वेफर सपोर्ट पृष्ठभागाभोवती ठेवलेल्या एचिंग उपकरणांच्या प्रतिक्रिया कक्षेत सामान्यतः स्थापित केले जातात. ही स्थापना व्यवस्था वेफर एज आणि इलेक्ट्रोडमधील उंचीचा फरक यशस्वीरित्या भरून काढू शकते, एकसमान कोरीव काम प्राप्त करण्यासाठी वेफरच्या पृष्ठभागावर प्रतिक्रिया कक्षातील प्लाझमा फोकस करते आणि वेफरच्या काठावर जास्त नक्षीकाम होण्याची समस्या टाळण्यासाठी वेफरच्या काठापासून प्लाझ्मा बाहेरून पसरण्यास प्रतिबंध करते.

एचिंग प्रक्रियेसाठी उच्च-गुणवत्तेचे कोरीव घटक स्थिर विद्युत क्षेत्र वातावरण प्रदान करू शकतात. Semicorex च्या सिलिकॉन कार्बाइड फोकस रिंग उच्च-कार्यक्षमतेपासून तयार केल्या जातातसिलिकॉन कार्बाइड साहित्यरासायनिक वाष्प साठा द्वारे. आमची फोकस रिंग्स वेफरभोवती विद्युत क्षेत्र वितरण समायोजित करण्यास सक्षम आहेत, कोरीव विचलन किंवा असमान इलेक्ट्रिक फील्डमुळे होणारी डिस्चार्ज घटना लक्षणीयरीत्या कमी करतात.

सेमीकंडक्टर वेफर्स हे कण दूषित होण्यास सहज संवेदनाक्षम असतात, म्हणून प्लाझ्मा एचिंग प्रक्रिया अल्ट्रा-क्लीन आयन एचिंग रिॲक्शन चेंबरमध्ये पार पाडणे आवश्यक आहे. एचिंग उपकरणाचा प्राथमिक घटक म्हणून, सिलिकॉन कार्बाइड फोकस रिंग प्रत्यक्ष ऑपरेशनमध्ये वेफर एजच्या थेट संपर्कात येतात, ज्याला अति-उच्च स्वच्छता मानकांची पूर्तता करणे देखील आवश्यक असते. Semicorex च्या सिलिकॉन कार्बाइड फोकस रिंग उच्च शुद्धता आणि कमी अशुद्धता सामग्रीचे फायदे देतात, जे सेमीकंडक्टर एचिंग प्रक्रियेच्या कठोर स्वच्छतेच्या आवश्यकतांची तंतोतंत पूर्तता करू शकतात. हे वेफर दोष कमी करण्यास आणि वेफर उत्पादन उत्पन्न सुधारण्यास मोठ्या प्रमाणात योगदान देते.

प्लाझ्मा एचिंग प्रक्रियेदरम्यान, फ्लोरिन आणि ऑक्सिजन यांसारखे नक्षी वायू अभिक्रिया कक्षेत येतात. प्रक्रिया वायूंमुळे होणाऱ्या दीर्घकालीन गंजामुळे एचिंग उपकरणांच्या रासायनिक गंज प्रतिकाराला गंभीरपणे आव्हान दिले जाते. प्लाझ्मा क्षरणासाठी त्याच्या उत्कृष्ट प्रतिकार गुणधर्मासह, सिलिकॉन कार्बाइड ही फोकस रिंग उत्पादनासाठी इष्टतम सामग्रीची निवड आहे. गंज-संबंधित घटकांचे नुकसान होण्याची शक्यता कमी करून आणि वारंवार बदलण्याची आणि देखभाल करण्याची आवश्यकता कमी करून, सिलिकॉन कार्बाइड फोकस रिंग्स सेमीकंडक्टर वेफर उत्पादनाची कार्यक्षमता लक्षणीयरीत्या वाढवू शकतात.