सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट

तुमच्या OEM सेमी फॅब्रिकेशन टूल्स आणि वेफर हँडलिंग घटकांसाठी सेमीकोरेक्स इंजिनिअर्स सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिरॅमिक्स. आमच्या सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोटचा चांगला किमतीचा फायदा आहे आणि अनेक युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारपेठा व्यापतात. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

सेमीकोरेक्सची सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट, ज्यामध्ये अत्यंत उच्च शुद्धता (99.99% पर्यंत), उत्कृष्ट प्लाझ्मा प्रतिरोध आणि उष्णता प्रतिरोध, आणि प्रतिबंधित कण घटना आहेत, संरचनात्मक घटक आणि साधनांसह अर्धसंवाहक प्रक्रिया उपकरणांच्या भागांमध्ये वापरली जाते.
Semicorex येथे, आम्ही उच्च-गुणवत्तेची, किफायतशीर सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट प्रदान करण्यावर लक्ष केंद्रित करतो, आम्ही ग्राहकांच्या समाधानाला प्राधान्य देतो आणि किफायतशीर उपाय प्रदान करतो. आम्ही तुमचा दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी, उच्च-गुणवत्तेची उत्पादने आणि अपवादात्मक ग्राहक सेवा देण्यासाठी उत्सुक आहोत.
आमच्या सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोटबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.

सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोटचे पॅरामीटर्स

तांत्रिक गुणधर्म
निर्देशांक	युनिट	मूल्य
साहित्याचे नाव		सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड प्रतिक्रिया	प्रेशरलेस सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड	सिलिकॉन कार्बाइड रीक्रिस्टॉल
रचना		RBSiC	SSiC	R-SiC
मोठ्या प्रमाणात घनता	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	MPa (kpsi)	३३८(४९)	३८०(५५)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
दाब सहन करण्याची शक्ती	MPa (kpsi)	११२०(१५८)	३९७०(५६०)	> 600
कडकपणा	नूप	2700	2800	/
ब्रेकिंग टेनसिटी	MPa m1/2	4.5	4	/
औष्मिक प्रवाहकता	W/m.k	95	120	23
थर्मल विस्ताराचे गुणांक	10^-6.1/°से	5	4	4.7
विशिष्ट उष्णता	ज्युल/g 0k	0.8	0.67	/
हवेतील कमाल तापमान	℃	1200	1500	1600
लवचिक मापांक	जीपीए	360	410	240

SSiC आणि RBSiC मधील फरक:

1. सिंटरिंग प्रक्रिया वेगळी आहे. RBSiC कमी तापमानात सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये मुक्त Si घुसवणे आहे, SSiC 2100 अंशांवर नैसर्गिक संकोचनाने तयार होते.

2. SSiC मध्ये गुळगुळीत पृष्ठभाग, उच्च घनता आणि उच्च सामर्थ्य आहे, अधिक कठोर पृष्ठभागाच्या आवश्यकता असलेल्या काही सीलिंगसाठी, SSiC अधिक चांगले असेल.

3. भिन्न PH आणि तापमान अंतर्गत वापरलेली भिन्न वेळ, SSiC RBSiC पेक्षा जास्त आहे

सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोटची वैशिष्ट्ये

उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता
गुळगुळीत पृष्ठभागासाठी बारीक SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक साफसफाईच्या विरूद्ध उच्च टिकाऊपणा
मटेरियल डिझाइन केले आहे जेणेकरून क्रॅक आणि डेलेमिनेशन होणार नाही.