सेमीकोरेक्स तुमच्या OEM सेमी फॅब्रिकेशन टूल्स आणि सेमीकंडक्टर उद्योगांमध्ये सिलिकॉन कार्बाइड स्तरांवर लक्ष केंद्रित करणार्या वेफर हँडलिंग घटकांसाठी सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिरॅमिक्स प्रदान करते. आम्ही अनेक वर्षांपासून सिलिकॉन वेफर कॅरियरचे निर्माता आणि पुरवठादार आहोत. आमच्या सिलिकॉन वेफर कॅरिअरला चांगला किमतीचा फायदा आहे आणि बहुतेक युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारपेठा कव्हर करतात. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
सेमीकंडक्टर डिपॉझिशन प्रक्रियेमध्ये वेफर्सवर उच्च दर्जाचे पातळ चित्रपट टाकण्यासाठी अस्थिर पूर्ववर्ती वायू, प्लाझ्मा आणि उच्च तापमान यांचे मिश्रण वापरले जाते. डिपॉझिशन चेंबर्स आणि वेफर हँडलिंग टूल्सना या आव्हानात्मक वातावरणात टिकून राहण्यासाठी टिकाऊ सिरेमिक घटकांची आवश्यकता असते.
सेमीकोरेक्स सिलिकॉन वेफर कॅरियर उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड आहे, ज्यामध्ये उच्च गंज आणि उष्णता प्रतिरोधक गुणधर्म तसेच उत्कृष्ट थर्मल चालकता आहे.
सिलिकॉन वेफर कॅरियरचे पॅरामीटर्स
तांत्रिक गुणधर्म |
||||
निर्देशांक |
युनिट |
मूल्य |
||
साहित्याचे नाव |
सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड प्रतिक्रिया |
प्रेशरलेस सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड |
सिलिकॉन कार्बाइड रीक्रिस्टॉल |
|
रचना |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
मोठ्या प्रमाणात घनता |
g/cm3 |
3 |
3.15 ± 0.03 |
2.60-2.70 |
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ |
MPa (kpsi) |
३३८(४९) |
३८०(५५) |
80-90 (20°C)90-100(1400°C) |
दाब सहन करण्याची शक्ती |
MPa (kpsi) |
११२०(१५८) |
३९७०(५६०) |
> 600 |
कडकपणा |
नूप |
2700 |
2800 |
/ |
ब्रेकिंग टेनसिटी |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
औष्मिक प्रवाहकता |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
थर्मल विस्ताराचे गुणांक |
10-6.1/°से |
5 |
4 |
4.7 |
विशिष्ट उष्णता |
ज्युल/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
हवेतील कमाल तापमान |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
लवचिक मापांक |
जीपीए |
360 |
410 |
240 |
SSiC आणि RBSiC मधील फरक:
1. सिंटरिंग प्रक्रिया वेगळी आहे. RBSiC कमी तापमानात सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये मुक्त Si घुसवणे आहे, SSiC 2100 अंशांवर नैसर्गिक संकोचनाने तयार होते.
2. SSiC मध्ये गुळगुळीत पृष्ठभाग, उच्च घनता आणि उच्च सामर्थ्य आहे, अधिक कठोर पृष्ठभागाच्या आवश्यकता असलेल्या काही सीलिंगसाठी, SSiC अधिक चांगले असेल.
3. भिन्न PH आणि तापमान अंतर्गत वापरलेली भिन्न वेळ, SSiC RBSiC पेक्षा जास्त आहे
सिलिकॉन वेफर कॅरियरची वैशिष्ट्ये
उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट
उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता
गुळगुळीत पृष्ठभागासाठी बारीक SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक साफसफाईच्या विरूद्ध उच्च टिकाऊपणा
मटेरियल डिझाइन केले आहे जेणेकरून क्रॅक आणि डेलेमिनेशन होणार नाही.
सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्सचे उपलब्ध आकार.¼
â सिरॅमिक रॉड / सिरेमिक पिन / सिरेमिक प्लंगर
â सिरॅमिक ट्यूब / सिरेमिक बुशिंग / सिरेमिक स्लीव्ह
â सिरॅमिक रिंग / सिरॅमिक वॉशर / सिरेमिक स्पेसर
â सिरेमिक डिस्क
â सिरॅमिक प्लेट / सिरेमिक ब्लॉक
â सिरॅमिक बॉल
â सिरॅमिक पिस्टन
â सिरॅमिक नोजल
â सिरॅमिक क्रूसिबल
â इतर सानुकूल सिरॅमिक भाग