सिलिकॉन वेफर वाहक

सेमीकंडक्टर डिपॉझिशन प्रक्रिया वाष्पशील पूर्ववर्ती वायू, प्लाझ्मा आणि उच्च तापमानाच्या मिश्रणाचा वापर करून वेफर्सवर उच्च दर्जाचे पातळ चित्रपट टाकतात. या आव्हानात्मक वातावरणात टिकून राहण्यासाठी डिपॉझिशन चेंबर्स आणि वेफर हँडलिंग टूल्सना टिकाऊ सिरेमिक घटकांची आवश्यकता असते.
सेमीकोरेक्स सिलिकॉन वेफर कॅरियर उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड आहे, ज्यामध्ये उच्च गंज आणि उष्णता प्रतिरोधक गुणधर्म तसेच उत्कृष्ट थर्मल चालकता आहे.

सिलिकॉन वेफर कॅरियरचे पॅरामीटर्स

SSiC आणि RBSiC मधील फरक:

1. सिंटरिंग प्रक्रिया वेगळी आहे. RBSiC कमी तापमानात सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये मुक्त Si घुसवणे आहे, SSiC 2100 अंशांवर नैसर्गिक संकोचनाने तयार होते.

2. SSiC मध्ये गुळगुळीत पृष्ठभाग, उच्च घनता आणि उच्च सामर्थ्य आहे, अधिक कठोर पृष्ठभागाच्या आवश्यकता असलेल्या काही सीलिंगसाठी, SSiC अधिक चांगले असेल.

3. भिन्न PH आणि तापमान अंतर्गत वापरलेली भिन्न वेळ, SSiC RBSiC पेक्षा जास्त आहे

सिलिकॉन वेफर कॅरियरची वैशिष्ट्ये

उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट
उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोध आणि थर्मल एकरूपता
गुळगुळीत पृष्ठभागासाठी बारीक SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक साफसफाईच्या विरूद्ध उच्च टिकाऊपणा
मटेरियल डिझाइन केले आहे जेणेकरून क्रॅक आणि डेलेमिनेशन होणार नाही.

सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्सचे उपलब्ध आकार：

● सिरॅमिक रॉड / सिरॅमिक पिन / सिरॅमिक प्लंगर

● सिरॅमिक ट्यूब / सिरेमिक बुशिंग / सिरेमिक स्लीव्ह

● सिरॅमिक रिंग / सिरॅमिक वॉशर / सिरॅमिक स्पेसर

● सिरॅमिक डिस्क

● सिरॅमिक प्लेट / सिरेमिक ब्लॉक

● सिरॅमिक बॉल

● सिरॅमिक पिस्टन

● सिरॅमिक नोजल

● सिरेमिक क्रूसिबल

● इतर सानुकूल सिरॅमिक भाग