सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड फिन्स

सेमिकोरेक्स घनसिलिकॉन कार्बाइड पंखते सामान्यत: सेमीकंडक्टर थर्मल ट्रीटमेंट उपकरणांच्या उभ्या फर्नेस ट्यूबमध्ये थर्मल इन्सुलेशन घटक म्हणून स्थापित केले जातात, जसे की आरटीपी ॲनिलिंग फर्नेसेस आणि डिफ्यूजन फर्नेस. सेमीकोरेक्स सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड फिन्स उच्च-तापमान भट्टीमध्ये तापमान वितरणाचे प्रभावीपणे नियमन करू शकतात आणि उच्च तापमानामुळे दरवाजाच्या सीलिंग भागांवर प्रक्रिया करण्यासाठी उष्णतेचे नुकसान कमी करू शकतात. ओले ऑक्सिडेशन ऑपरेटिंग परिस्थितीत, सेमीकोरेक्स सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड फिनचा वापर प्रक्रिया परिणामांवर आणि तुलनेने कमी प्रक्रिया तापमानात पाण्याच्या वाफेच्या संक्षेपणामुळे होणारे सेमीकंडक्टर उपकरणांवर होणारे नकारात्मक परिणाम प्रभावीपणे रोखण्यासाठी केला जाऊ शकतो.

सेमिकोरेक्स सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड फिन्सचे फायदे

1. उत्कृष्ट पोशाख प्रतिकार

CVD SiC मध्ये पॉलीक्रिस्टलाइन क्यूबिक क्रिस्टल स्ट्रक्चर आहे, ज्यामध्ये डायमंडनंतर अपवादात्मक कडकपणा आहे. सेमीकोरेक्स सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड फिन्सचा उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध या गुणधर्मास कारणीभूत आहे, ज्यामुळे ते हाताळणी आणि बदली दरम्यान घर्षण सहन करू शकतात.

2. उत्कृष्ट थर्मल व्यवस्थापन क्षमता

CVD SiC उत्कृष्ट थर्मल प्रतिरोधकता आणि उच्च-तापमान स्थिरता प्रदान करते, जे अंदाजे 2000°C पर्यंत तापमानात वितळत नाही किंवा मऊ होत नाही आणि अति-उच्च तापमान उदात्तीकरणापूर्वी त्याची स्थिरता राखते. या उत्कृष्ट थर्मल वैशिष्ट्यांमुळे, सेमीकोरेक्स सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड फिन्स आव्हानात्मक सेमीकंडक्टर उष्णता उपचार प्रक्रियेसाठी अत्यंत योग्य आहेत.

3. अति-उच्च स्वच्छता

CVD-SiCडिपॉझिशन प्रक्रियेदरम्यान सिंटरिंग ॲडिटीव्हशिवाय तयार केले जाते. पारंपारिक प्रतिक्रिया-बंधित सिलिकॉन कार्बाइडच्या तुलनेत, त्यात जास्त शुद्धता आहे, 99.9995% पेक्षा जास्त आहे. हे प्रगत सेमीकंडक्टर उत्पादनाच्या स्वच्छतेची आवश्यकता उत्तम प्रकारे पूर्ण करून, प्रक्रिया वातावरणात उच्च तापमानामुळे होणाऱ्या सेमिकोरेक्स सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड फिनच्या धातूच्या अशुद्धतेला प्रतिबंधित करते.

4. विश्वसनीय गंज प्रतिकार

सेमीकोरेक्स सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड फिन्स उच्च तापमानात CVD SiC च्या अपवादात्मक रासायनिक जडत्वामुळे, अर्धसंवाहक उष्णता उपचार प्रक्रियेमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या उच्च ऑक्सिडायझिंग आणि जोरदार अम्लीय प्रक्रिया वायूंचा सामना करू शकतात. हे विश्वसनीय गंज प्रतिकार प्रभावीपणे त्यांचे सेवा आयुष्य वाढवते, घटक बदलण्याची किंमत कमी करते.

5. अचूक मशीनिंग अचूकता

वेगवेगळ्या फर्नेस ट्यूबसह सुसंगतता सुनिश्चित करण्यासाठी, सेमीकोरेक्स व्यास, जाडी, छिद्र आकार, सपाटपणा आणि आयामी सहनशीलतेसाठी ग्राहकांच्या आवश्यकतांनुसार घन सिलिकॉन कार्बाइड फिन्स कस्टमाइझ करू शकते. ही उच्च-मानक मशीनिंग अचूकता उपकरणांमधील पंखांच्या स्थिर ऑपरेशनची हमी देते आणि सेमीकंडक्टर उष्णता उपचार अनुप्रयोगांच्या एकूण कार्यक्षमतेस अनुकूल करण्यात मदत करते.