TaC कोटिंग ग्रेफाइट उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइट सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर टँटलम कार्बाइडच्या बारीक थराने प्रोप्रायटरी केमिकल वाफ डिपॉझिशन (CVD) प्रक्रियेद्वारे कोटिंग करून तयार केले जाते.
टँटलम कार्बाइड (TaC) हे एक संयुग आहे ज्यामध्ये टँटलम आणि कार्बन असतात. यात धातूची विद्युत चालकता आणि अपवादात्मकपणे उच्च वितळण्याचा बिंदू आहे, ज्यामुळे ते एक रीफ्रॅक्टरी सिरेमिक सामग्री बनते जे त्याच्या ताकद, कडकपणा आणि उष्णता आणि परिधान प्रतिरोधकतेसाठी ओळखले जाते. टँटलम कार्बाइड्सचा वितळण्याचा बिंदू शुद्धतेवर अवलंबून सुमारे 3880°C वर पोहोचतो आणि बायनरी संयुगांमध्ये सर्वाधिक वितळणारा बिंदू आहे. MOCVD आणि LPE सारख्या कंपाऊंड सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल प्रक्रियांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या कार्यक्षमतेपेक्षा जास्त तापमानाची मागणी जास्त असते तेव्हा हे एक आकर्षक पर्याय बनवते.
सेमिकोरेक्स टीएसी कोटिंगचा मटेरियल डेटा
प्रकल्प |
पॅरामीटर्स |
घनता |
14.3 (gm/cm³) |
उत्सर्जनशीलता |
0.3 |
CTE (×10-6/के) |
6.3 |
कडकपणा (HK) |
2000 |
प्रतिकार (ओहम-सेमी) |
1×10-5 |
थर्मल स्थिरता |
<2500℃ |
ग्रेफाइट आकारमान बदल |
-10~-20um (संदर्भ मूल्य) |
कोटिंग जाडी |
≥20um ठराविक मूल्य(35um±10um) |
|
|
वरील ठराविक मूल्ये आहेत |
|
सीलिंग घटकांवर लागू केलेली Semicorex TaC-कोटेड सील रिंग सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशनच्या मागणीच्या वातावरणात अपवादात्मक कार्यक्षमता फायदे प्रदान करते. TaC कोटिंग रासायनिक प्रतिकार, अति तापमान आणि यांत्रिक पोशाख, उच्च प्रक्रिया उत्पन्न, वाढीव उपकरणे अपटाइम आणि शेवटी, उत्पादन खर्च कमी करण्यास सक्षम बनविण्याशी संबंधित गंभीर आव्हानांना संबोधित करते. आम्ही Semicorex येथे उच्च-कार्यक्षमता TaC-कोटेड सील रिंग तयार करण्यासाठी आणि पुरवण्यासाठी समर्पित आहोत जी किमती-कार्यक्षमतेसह गुणवत्तेला जोडते.**
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स टँटलम कार्बाइड कोटेड ससेप्टर हा एक महत्त्वाचा घटक आहे, जो सेमीकंडक्टर वेफर्स तयार करण्यासाठी आवश्यक डिपॉझिशन प्रक्रियेत महत्त्वाची भूमिका बजावतो. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत*.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमिकोरेक्स टँटलम कार्बाइड चक हा अर्धसंवाहक उत्पादन उपकरणांमध्ये वापरला जाणारा एक प्रगत घटक आहे, जो त्याच्या अपवादात्मक थर्मल आणि यांत्रिक गुणधर्मांसाठी प्रसिद्ध आहे. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत*.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाSemicorex TaC कोटेड रिंग हा एक महत्त्वाचा घटक आहे जो या मागणीच्या गरजा पूर्ण करतो. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत*.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमिकोरेक्स TaC कोटेड शॉवरहेड रासायनिक वाष्प जमा करण्याच्या प्रक्रियेचा अविभाज्य घटक आहे, जे अतुलनीय कामगिरी आणि दीर्घायुष्य प्रदान करते. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत*.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स टॅसी कोटेड चक सेमीकंडक्टर उत्पादन क्षेत्रात महत्त्वपूर्ण प्रगती दर्शवते. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत*.
पुढे वाचाचौकशी पाठवा