सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी वेफर बोट

तांत्रिक गुणधर्म

निर्देशांक

युनिट

मूल्य

साहित्याचे नाव

सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड प्रतिक्रिया

प्रेशरलेस सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड

सिलिकॉन कार्बाइड रीक्रिस्टॉल

रचना

RBSiC

SSiC

R-SiC

मोठ्या प्रमाणात घनता

g/cm3

3

3.15 ± 0.03

2.60-2.70

फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ

MPa (kpsi)

३३८(४९)

३८०(५५)

80-90 (20°C)90-100(1400°C)

दाब सहन करण्याची शक्ती

MPa (kpsi)

११२०(१५८)

३९७०(५६०)

> 600

कडकपणा

नूप

2700

2800

/

ब्रेकिंग टेनसिटी

MPa m1/2

4.5

4

/

औष्मिक प्रवाहकता

W/m.k

95

120

23

थर्मल विस्ताराचे गुणांक

10^-6.1/°से

5

4

4.7

विशिष्ट उष्णता

ज्युल/g 0k

0.8

0.67

/

हवेतील कमाल तापमान

℃

1200

1500

1600

लवचिक मापांक

जीपीए

360

410

240