सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी वेफर बोट

Semicorex उभ्या/स्तंभ आणि क्षैतिज कॉन्फिगरेशनसाठी वेफर बोट्स, पेडेस्टल्स आणि कस्टम वेफर वाहक प्रदान करते. आम्ही अनेक वर्षांपासून सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग फिल्मचे निर्माता आणि पुरवठादार आहोत. सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी आमच्या वेफर बोटचा चांगला किमतीचा फायदा आहे आणि बहुतेक युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारपेठा व्यापतात. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी सेमिकोरेक्स SiC वेफर बोट, सेमीकंडक्टर उत्पादनात वेफर हाताळणी आणि संरक्षणासाठी अंतिम उपाय. सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी आमची वेफर बोट उच्च-गुणवत्तेच्या सिलिकॉन कार्बाइडपासून बनविली गेली आहे, ज्यामध्ये गंज आणि उच्च तापमान आणि थर्मल शॉकसाठी उत्कृष्ट प्रतिकार आहे. प्रगत सिरेमिक उच्च-क्षमतेच्या वेफर वाहकांसाठी कण आणि दूषित घटक कमी करताना उत्कृष्ट थर्मल प्रतिरोध आणि प्लाझ्मा टिकाऊपणा प्रदान करतात.

सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी वेफर बोटचे मापदंड

तांत्रिक गुणधर्म
निर्देशांक	युनिट	मूल्य
साहित्याचे नाव		सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड प्रतिक्रिया	प्रेशरलेस सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड	सिलिकॉन कार्बाइड रीक्रिस्टॉल
रचना		RBSiC	SSiC	R-SiC
मोठ्या प्रमाणात घनता	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	MPa (kpsi)	३३८(४९)	३८०(५५)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
संकुचित शक्ती	MPa (kpsi)	११२०(१५८)	३९७०(५६०)	> 600
कडकपणा	बटण	2700	2800	/
ब्रेकिंग टेनसिटी	MPa m1/2	4.5	4	/
थर्मल चालकता	W/m.k	95	120	23
थर्मल विस्ताराचे गुणांक	10^-6.1/°से	5	4	4.7
विशिष्ट उष्णता	ज्युल/g 0k	0.8	0.67	/
हवेतील कमाल तापमान	℃	1200	1500	1600
लवचिक मॉड्यूलस	जीपीए	360	410	240

सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी वेफर बोटची वैशिष्ट्ये

उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता
गुळगुळीत पृष्ठभागासाठी बारीक SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक साफसफाईच्या विरूद्ध उच्च टिकाऊपणा
मटेरियल डिझाइन केले आहे जेणेकरून क्रॅक आणि डेलेमिनेशन होणार नाही.