सेमीकोरेक्स तुमच्या OEM सेमी फॅब्रिकेशन टूल्स आणि सेमीकंडक्टर उद्योगांमध्ये सिलिकॉन कार्बाइड स्तरांवर लक्ष केंद्रित करणार्या वेफर हँडलिंग घटकांसाठी सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिरॅमिक्स प्रदान करते. आम्ही अनेक वर्षांपासून वेफर कॅरियर सेमीकंडक्टरचे निर्माता आणि पुरवठादार आहोत. आमच्या वेफर वाहक सेमीकंडक्टरला चांगला किमतीचा फायदा आहे आणि बहुतेक युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारपेठा कव्हर करतात. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
सेमीकंडक्टर डिपॉझिशन प्रक्रियेमध्ये वेफर्सवर उच्च दर्जाचे पातळ चित्रपट टाकण्यासाठी अस्थिर पूर्ववर्ती वायू, प्लाझ्मा आणि उच्च तापमान यांचे मिश्रण वापरले जाते. डिपॉझिशन चेंबर्स आणि वेफर हँडलिंग टूल्सना या आव्हानात्मक वातावरणात टिकून राहण्यासाठी टिकाऊ सिरेमिक घटकांची आवश्यकता असते. Semicorex Wafer Carrier Semiconductor उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड आहे, ज्यामध्ये उच्च गंज आणि उष्णता प्रतिरोधक गुणधर्म तसेच उत्कृष्ट थर्मल चालकता आहे.
आमच्या वेफर कॅरियर सेमीकंडक्टरबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.
वेफर कॅरियर सेमीकंडक्टरचे पॅरामीटर्स
तांत्रिक गुणधर्म |
||||
निर्देशांक |
युनिट |
मूल्य |
||
साहित्याचे नाव |
सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड प्रतिक्रिया |
प्रेशरलेस सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड |
सिलिकॉन कार्बाइड रीक्रिस्टॉल |
|
रचना |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
मोठ्या प्रमाणात घनता |
g/cm3 |
3 |
3.15 ± 0.03 |
2.60-2.70 |
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ |
MPa (kpsi) |
३३८(४९) |
३८०(५५) |
80-90 (20°C)90-100(1400°C) |
दाब सहन करण्याची शक्ती |
MPa (kpsi) |
११२०(१५८) |
३९७०(५६०) |
> 600 |
कडकपणा |
नूप |
2700 |
2800 |
/ |
ब्रेकिंग टेनसिटी |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
औष्मिक प्रवाहकता |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
थर्मल विस्ताराचे गुणांक |
10-6.1/°से |
5 |
4 |
4.7 |
विशिष्ट उष्णता |
ज्युल/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
हवेतील कमाल तापमान |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
लवचिक मापांक |
जीपीए |
360 |
410 |
240 |
SSiC आणि RBSiC मधील फरक:
1. सिंटरिंग प्रक्रिया वेगळी आहे. RBSiC कमी तापमानात सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये मुक्त Si घुसवणे आहे, SSiC 2100 अंशांवर नैसर्गिक संकोचनाने तयार होते.
2. SSiC मध्ये गुळगुळीत पृष्ठभाग, उच्च घनता आणि उच्च सामर्थ्य आहे, अधिक कठोर पृष्ठभागाच्या आवश्यकता असलेल्या काही सीलिंगसाठी, SSiC अधिक चांगले असेल.
3. भिन्न PH आणि तापमान अंतर्गत वापरलेली भिन्न वेळ, SSiC RBSiC पेक्षा जास्त आहे
वेफर कॅरियर सेमीकंडक्टरची वैशिष्ट्ये
- कमी तरंगलांबी विचलन आणि उच्च चिप उत्पन्न
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आहेत.
- घट्ट मितीय सहिष्णुतेमुळे उत्पादनाचे उच्च उत्पन्न आणि कमी खर्च होतो
- पिनहोल प्रतिरोध आणि उच्च आयुष्यासाठी उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट आणि SiC कोटिंग
सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्सचे उपलब्ध आकार.¼
â सिरॅमिक रॉड / सिरेमिक पिन / सिरेमिक प्लंगर
â सिरॅमिक ट्यूब / सिरेमिक बुशिंग / सिरेमिक स्लीव्ह
â सिरॅमिक रिंग / सिरॅमिक वॉशर / सिरेमिक स्पेसर
â सिरेमिक डिस्क
â सिरॅमिक प्लेट / सिरेमिक ब्लॉक
â सिरॅमिक बॉल
â सिरॅमिक पिस्टन
â सिरॅमिक नोजल
â सिरॅमिक क्रूसिबल
â इतर सानुकूल सिरॅमिक भाग