पुढील पिढीतील लिथोग्राफी आणि वेफर-हँडलिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी योग्य, सेमिकोरेक्स अल्ट्रा-प्युअर सिरॅमिक घटक कमीतकमी दूषिततेची खात्री करतात आणि अपवादात्मक दीर्घ आयुष्याची कार्यक्षमता प्रदान करतात. आमच्या वेफर व्हॅक्यूम चकचा चांगला किमतीचा फायदा आहे आणि अनेक युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारपेठा कव्हर करतात. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
सेमिकोरेक्स अल्ट्रा-फ्लॅट सिरॅमिक वेफर व्हॅक्यूम चक हे वेफर हाताळणी प्रक्रियेत वापरून उच्च शुद्धतेचे SiC लेपित आहे. MOCVD उपकरणांद्वारे सेमीकंडक्टर वेफर व्हॅक्यूम चक कंपाऊंड ग्रोथमध्ये उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधक क्षमता असते, ज्याची अत्यंत वातावरणात स्थिरता असते आणि सेमीकंडक्टर वेफर प्रक्रियेसाठी उत्पादन व्यवस्थापन सुधारते. कमी-पृष्ठभाग-संपर्क कॉन्फिगरेशन संवेदनशील अनुप्रयोगांसाठी मागील बाजूच्या कणांचा धोका कमी करतात.
Semicorex येथे, आम्ही उच्च-गुणवत्तेचे, किफायतशीर वेफर व्हॅक्यूम चक प्रदान करण्यावर लक्ष केंद्रित करतो, आम्ही ग्राहकांच्या समाधानाला प्राधान्य देतो आणि किफायतशीर उपाय प्रदान करतो. आम्ही तुमचा दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी, उच्च-गुणवत्तेची उत्पादने आणि अपवादात्मक ग्राहक सेवा देण्यासाठी उत्सुक आहोत.
वेफर व्हॅक्यूम चकचे पॅरामीटर्स
CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये |
||
SiC-CVD गुणधर्म |
||
क्रिस्टल स्ट्रक्चर |
FCC β फेज |
|
घनता |
g/cm ³ |
3.21 |
कडकपणा |
विकर्स कडकपणा |
2500 |
धान्य आकार |
μm |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
उष्णता क्षमता |
J kg-1 K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल सामर्थ्य |
MPa (RT 4-पॉइंट) |
415 |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
वेफर व्हॅक्यूम चकची वैशिष्ट्ये
● अल्ट्रा-फ्लॅट क्षमता
● मिरर पॉलिश
● अपवादात्मक हलके वजन
● उच्च कडकपणा
● कमी थर्मल विस्तार
● Φ 300 मिमी व्यास आणि त्यापुढील
● अत्यंत पोशाख प्रतिकार