AL2O3 व्हॅक्यूम चक्स

सेमीकोरेक्स अल ₂o₃ व्हॅक्यूम चक्स हे सेमीकंडक्टर उद्योगातील वेफर हँडलिंग, फिक्सेशन आणि प्रोसेसिंग applications प्लिकेशन्ससाठी विकसित केलेले अचूक मायक्रोपोरस सिरेमिक घटक आहेत. 35%-40%च्या नियंत्रित पोर्सिटीसह काळ्या अल्युमिनापासून बनविलेले हे व्हॅक्यूम सोशोशन प्रक्रियेसाठी एक अत्यंत स्थिर, स्वच्छ आणि विश्वासार्ह माध्यम आहे. गंभीर प्रक्रियेच्या चरणांदरम्यान वापरकर्त्याच्या नाजूक वेफरसाठी सातत्यपूर्ण सक्शन कार्यक्षमता प्रदान करण्यासाठी प्रगत उत्पादन तंत्राचा वापर करून सब्सट्रेटच्या सिरेमिक प्रक्रियेस कार्यात्मक पृष्ठभागावर एकत्रित केले जाते.

काळाअल्युमिना (अल्युमिना); धातू आणि पॉलिमरच्या तुलनेत यांत्रिक सामर्थ्य, कडकपणा आणि रासायनिक प्रतिकारांचे एक अद्वितीय संतुलन आहे. व्हॅक्यूम चकच्या पृष्ठभागावर सुसंगत व्हॅक्यूम वितरण प्रदान करण्यासाठी नियंत्रित पोर्सिटीसाठी मायक्रोपोरस स्ट्रक्चर ऑप्टिमाइझ केले जाते. वेफर चकच्या संपूर्ण पृष्ठभागाच्या संपूर्ण क्षेत्रामध्ये सातत्याने व्हॅक्यूम वितरण स्थानिक तणाव एकाग्रता कमी करते, वेफर विकृती, किनार चिपिंग आणि ब्रेकचा धोका मर्यादित करते. जसजसे वेफर फॅब्रिकेशन व्यासाचे प्रमाण वाढत आहे आणि भूमिती आणि उपकरणे अधिक नाजूक बनतात, प्रक्रिया उत्पन्न आणि सुधारित वेफर हाताळणीची विश्वसनीयता गंभीर आवश्यकता बनते.

35-40% च्या नियंत्रित पोर्सिटी या व्हॅक्यूम चकचे मुख्य वैशिष्ट्य दर्शवते. ऑप्टिमाइझ्ड पोअर नेटवर्क छिद्र क्षेत्रातून हवाई बाहेर काढताना अशांतता कमी करू शकते आणि यांत्रिक सामर्थ्य आणि टिकाऊपणा जपताना होल्डिंग फोर्स राखू शकते. याउलट, यांत्रिकी क्लॅम्प्स प्लेट्स वापरतात ज्यामुळे स्थानिक तणाव बिंदू कारणीभूत ठरतात आणि वैयक्तिक वेफरच्या यांत्रिक गुणधर्मांविरूद्ध कार्य करतात. मायक्रोपोरस एल्युमिना पृष्ठभाग, म्हणूनच यांत्रिक दृष्टिकोन दरम्यान वेफर्स सपाट आणि विसंगतपणे ठेवण्यात श्रेष्ठ आहे. हे हाय-टेक सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी परिपूर्ण उमेदवार बनवते जे वेफर फ्लॅटनेस आणि गुळगुळीत होल्डचा फायदा, लिथोग्राफी, एचिंग, जमा आणि मेट्रोलॉजीसह.

थर्मल दृष्टीकोनातून, काळ्या अल्युमिना मटेरियलमध्ये उन्नत तापमानात आयामी स्थिरता राखण्याची ही क्षमता उत्कृष्ट आहे. थर्मल विस्ताराच्या कमी गुणांकांसह, व्हॅक्यूम चक हीटिंग आणि कूलिंग सायकल दरम्यान अगदी अचूक राहण्यास सक्षम आहे, जे वेफर प्रोसेसिंग वातावरणात बर्‍याचदा तापमानाच्या चढ -उतारांमुळे एक महत्त्वपूर्ण पैलू आहे. या सिरेमिकचा कडकपणा आणि पोशाख प्रतिकार देखील चकची दीर्घायुष्य वाढवते, उपकरणे ऑपरेटरसाठी देखभालची वारंवारता कमी करते आणि मालकीची एकूण किंमत कमी करते.

एल्युमिना सिरेमिक्सची रासायनिक जडता ही आणखी एक भरीव मालमत्ता आहे. सेमीकंडक्टर फॅबमध्ये, उपकरणांच्या घटकांना आक्रमक रसायने, साफसफाईचे एजंट किंवा प्लाझ्मा वातावरण बिघडल्याशिवाय सहन करणे आवश्यक आहे. ब्लॅक एल्युमिनाकडे गंज, ऑक्सिडेशन आणि/किंवा पृष्ठभागाच्या दूषिततेचा प्रतिकार करण्यासाठी उत्कृष्ट गुणधर्म आहेत आणि त्याद्वारे उत्तेजित ऑपरेटिंग सायकल कालावधी दरम्यान रचना आणि स्ट्रक्चरल/फासिक स्थिरता टिकवून ठेवते. या ठिकाणी या मालमत्तेचा अर्थ असा आहे की वेफर्सला दूषितपणाचे अधीन केले जात नाही जे सर्किटला त्या डिव्हाइस कसे करतात त्यापासून संरक्षण करते आणि क्लीनरूम प्रोटोकॉलवर विश्वास ठेवते.

केवळ अ‍ॅलिओ व्हॅक्यूम चक्स उत्कृष्ट कार्यात्मक कामगिरीचे प्रदर्शन करत नाहीत तर पृष्ठभाग समाप्त देखील घट्ट नियंत्रित केले जाते. समाप्त उच्च-परिशुद्धता मशीनिंग आणि पॉलिशिंग प्रक्रियेचा वापर करून तयार केले जाते ज्यामुळे एकसमान सपाटपणा आणि गुळगुळीतपणा मिळतो जेणेकरून नाजूक वेफर्स स्क्रॅच किंवा पृष्ठभागाचे नुकसान न करता ठेवले जाऊ शकतात. पातळ, ठिसूळ सब्सट्रेट्सचे कोणतेही नुकसान टाळताना, मटेरियलच्या अत्यंत इंजिनियर्ड पोर्सिटीमुळे सक्शन आणि पृष्ठभागाच्या संरक्षणामध्ये योग्य संतुलन मिळते, ज्यामुळे वेफरवर पुरेसे होल्डिंग फोर्स मिळते.

ऑपरेशनल दृष्टिकोनातून, समकालीन सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये अलओओ व्हॅक्यूम चक्स गंभीर घटक आहेत. हे ऑटोमेशन सुलभ करते, ज्यामुळे वेफर्सला निवडले जाऊ शकते, ठेवलेले, संरेखित केले जाऊ शकते आणि प्रक्रिया केली जाते, प्रक्रियेच्या आवश्यकतांचे विश्वसनीयरित्या समाधान होते. ऑप्टिकल तपासणी आणि मोजमाप प्रक्रियेदरम्यान प्रकाश प्रतिबिंब कमी करून एल्युमिनाचा काळा रंग देखील मदत करतो आणि व्यावहारिक फायदे प्रदान करतो, विशेषत: जेथे उच्च-परिशुद्धता ऑप्टिकल उपकरणे वापरली जातात.

सेमीकंडक्टर उत्पादकांच्या वेफर हाताळणी आव्हानांसाठी दीर्घकाळ टिकणारा, उच्च-कार्यक्षमता समाधान, अल्को व्हॅक्यूम चक्समध्ये, चांगल्या विचारात घेतलेल्या डिझाइनसह प्रगत सिरेमिक तंत्रज्ञानाचे संयोजन करणे. अलॉओ व्हॅक्यूम चक्स कमी वेफर तोटाद्वारे उत्पादकता सुधारतात, टिकाऊपणामुळे डाउनटाइम कमी करतात आणि सातत्यपूर्ण व्हॅक्यूम होल्डिंग फोर्स प्रदान करून प्रक्रिया स्थिरता वाढवते.

मायक्रोप्रोरस ब्लॅकपासून बनविलेले सेमीकोरेक्स अल ₂o₃ व्हॅक्यूम चक्सएल्युमिनाफक्त एक फिक्स्चरपेक्षा अधिक आहे; हे अचूक सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगचे एक गंभीर सक्षम आहे. त्याच्या ऑप्टिमाइझ्ड पोर्सिटी, अपवादात्मक सामग्री गुणधर्म आणि मजबूत कामगिरीसह, हे सर्वात मागणी असलेल्या फॅब्रिकेशन प्रक्रियेमध्ये विश्वसनीय वेफर हाताळणी सुनिश्चित करते. उच्च उत्पन्न, सुधारित प्रक्रिया कार्यक्षमता आणि उत्कृष्ट उपकरणांची कार्यक्षमता मिळविण्याच्या प्रयत्नात असलेल्या उत्पादकांसाठी, ब्लॅक एल्युमिना व्हॅक्यूम चक ही एक अपरिहार्य निवड आहे.