सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड चक विशेषत: फोटोलिथोग्राफी उपकरणांसाठी डिझाइन केलेले आहेत आणि त्यांचे अनेक फायदे आहेत जसे की उच्च सुस्पष्टता, अल्ट्रा-लाइट वजन, उच्च कडकपणा, थर्मल विस्ताराचे कमी गुणांक आणि उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध.
सेमीकोरेक्ससिलिकॉन कार्बाइड चकबनलेले कार्यात्मक शोषण साधने आहेतसिलिकॉन कार्बाइड(SiC) सिरेमिक साहित्य. ते मुख्यतः सेमीकंडक्टर, फोटोव्होल्टाइक्स, अचूक उत्पादन आणि इतर परिस्थितींमध्ये वापरले जातात ज्यांना उच्च तापमान प्रतिरोध, पोशाख प्रतिरोध, रासायनिक गंज प्रतिरोध आणि सामग्रीची स्वच्छता यासाठी अत्यंत उच्च आवश्यकता असते.
SiC सिरेमिक सामग्रीमध्ये उच्च तापमान प्रतिरोधक क्षमता असते आणि उच्च तापमान वातावरणात त्याची संरचनात्मक स्थिरता राखते. त्याची उत्कृष्ट थर्मल चालकता वर्कपीसच्या अतिउष्णतेला प्रतिबंधित करून, शोषण दरम्यान निर्माण होणारी उष्णता द्रुतपणे नष्ट करण्यास अनुमती देते. सामग्रीच्या अपवादात्मक कडकपणामुळे ते खडबडीत किंवा कठोर वर्कपीस पकडण्यासाठी योग्य बनते. याव्यतिरिक्त, SiC सिरॅमिक सामग्रीची रासायनिक जडत्व मजबूत ऍसिडस्, मजबूत अल्कली आणि सेंद्रिय सॉल्व्हेंट्सद्वारे गंजण्यास प्रतिरोधक बनवते. या सामग्रीची कमी अशुद्धता पर्जन्य कामगिरी अशुद्धतेचे प्रदूषण टाळते आणि सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या अल्ट्रा-क्लीन आवश्यकता पूर्ण करून, उपकरणांच्या सामान्य ऑपरेशनचा कालावधी वाढवते.
सेमिकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड चकची विशिष्ट वैशिष्ट्ये
1.उच्च सुस्पष्टता: सपाटपणा 0.3-0.5μm आहे.
2.मिरर पॉलिशिंग
3.अल्ट्रा-हलके वजन
4.उच्च कडकपणा
5. थर्मल विस्ताराचे कमी गुणांक
6.उत्कृष्ट पोशाख प्रतिकार
सिलिकॉन कार्बाइड चक्सची अनुप्रयोग परिस्थिती
सेमीकंडक्टर उत्पादन
वेफर हस्तांतरण आणि प्रक्रिया: फोटोलिथोग्राफी आणि एचिंग सारख्या प्रक्रियांमध्ये, विस्थापन त्रुटी टाळण्यासाठी वेफरला व्हॅक्यूम वातावरणात स्थिरपणे शोषले जाणे आवश्यक आहे.
प्लाझ्मा गंज प्रतिकार: सेमीकंडक्टर एचिंग प्रक्रियेत, उत्कृष्ट गंज प्रतिकार उत्पादनाचे सेवा आयुष्य वाढवू शकते.
फोटोव्होल्टेइक सेल उत्पादन
सिलिकॉन वेफर कटिंग: कटिंग कंपनाचा प्रतिकार करण्यासाठी आणि सिलिकॉन वेफर्सचे विखंडन दर कमी करण्यासाठी सिलिकॉन वेफर्स शोषून घेतात.
प्रेसिजन ऑप्टिक्स आणि इलेक्ट्रॉनिक्स मॅन्युफॅक्चरिंग
नीलम सब्सट्रेट प्रक्रिया: LED चिप उत्पादनात वापरल्या जाणाऱ्या नीलम सब्सट्रेट्सना व्हॅक्यूम शोषण आवश्यक आहे. शोषण शक्तीने सब्सट्रेटच्या वजनावर मात केली पाहिजे आणि उत्पादनाच्या पृष्ठभागावर स्क्रॅच करणे टाळले पाहिजे.
सिलिकॉन कार्बाइड चक त्यांच्या उत्कृष्ट कार्यक्षमतेमुळे उच्च श्रेणीतील उत्पादन क्षेत्रातील प्रमुख उपभोग्य वस्तू बनल्या आहेत, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर, फोटोव्होल्टेइक आणि रीसीजन मॅन्युफॅक्चरिंग सारख्या उद्योगांमध्ये तांत्रिक प्रगतीला चालना मिळते.