सच्छिद्र एल्युमिना चक्स

सेमीकोरेक्स सच्छिद्र एल्युमिना चक्स सर्वात नाजूक वेफर्ससाठी हेतू-निर्मित आहेत. त्यांचे सच्छिद्र डिझाइन चक पृष्ठभागावर सातत्याने व्हॅक्यूम वितरणाचे आश्वासन प्रदान करते, जे कमी स्थानिक ताणतणावाची सुनिश्चित करते आणि एज चिपिंग आणि ब्रेक रोखण्यासाठी एड्स. मेकॅनिकल क्लॅम्पिंग (सॉलिड किंवा अन्यथा) मायक्रोपोरस नेटवर्कइतकेच प्रभावी नाही जे जास्त प्रमाणात मेकॅनिकल ताणतणावांशिवाय नाजूक वेफर्स ठेवते आणि वेफरला सुरक्षितपणे निश्चित करते, कारण मायक्रोपोरस स्ट्रक्चर परिधान प्रतिबंधित करते आणि सौम्य होल्ड प्रदान करते. संपूर्ण चक पृष्ठभागावर एकसमान शोषणाची आवश्यकता विशेषत: मोठ्या आणि पातळ असलेल्या वेफर्ससाठी गंभीर आहे जी स्वयंचलित हाताळणी दरम्यान आणि उच्च अचूक प्रक्रिया चरणांची अंमलबजावणी करताना कमी तणाव सहन करू शकते.

-35-40०% पोर्सिटीसाठी ऑप्टिमाइझ केलेले, चक आंतर-कनेक्टिंग छिद्रांचे एक नेटवर्क विकसित करते जे प्रक्रिया सैन्यांविरूद्ध वेफर ठेवण्यासाठी पुरेशी यांत्रिक सामर्थ्य प्रदान करताना हवा रिकामी करण्यासाठी काम करते. याचा अर्थ असा आहे की व्हॅक्यूम होल्डिंग फोर्स एक जटिल प्रक्रिया अनुक्रम करत असताना वेफर्स हलवित असताना वेगवान वारसा हलविताना स्थिर राहते. मायक्रोप्रोरस नेटवर्कमधील शोषण व्हॅक्यूम सिस्टममध्ये फक्त दबावात फरक निर्माण करण्यापेक्षा अधिक स्थिरता प्रदान करते.

ब्लॅक एल्युमिना (अल्युओ), स्वतःच अंतिम सामग्री आहे कारण ती कठोर, पोशाख-प्रतिरोधक आणि रासायनिकदृष्ट्या जड आहे. हे कोणत्याही कौतुकास्पद पृष्ठभागाचे अधोगती करणार नाही आणि वेफरच्या वारंवार चक्रांद्वारे (प्लेसमेंट/ व्हॅक्यूम or क्सॉर्प्शन/ कूलिंग) अप्रभावित आहे. काळाएल्युमिनाआयामात स्थिरता आहे, म्हणूनच प्रक्रियेदरम्यान (गरम आणि शीतकरण) किंवा वातावरणात तापमानात बदल घडवून आणला तरी बदल होणार नाही.

रासायनिक प्रतिकार हा काळ्या अल्युमिनाचा आणखी एक महत्त्वाचा फायदा आहे. चक त्याच्या स्ट्रक्चरल अखंडतेशी तडजोड न करता आक्रमक साफसफाई, प्लाझ्मा आणि एचिंग वातावरणात कार्य करू शकते. त्याची जडत्व वेफर पृष्ठभागाच्या दूषिततेस प्रतिबंधित करते, उच्च प्रक्रिया शुद्धता आणि क्लीनरूमच्या मानकांचे पालन करते.

मायक्रोपोरस स्ट्रक्चर देखील एक सहाय्यक पृष्ठभाग प्रदान करते जे पातळ आणि ठिसूळ वेफर्सवर तणाव एकाग्रतेपासून मुक्त होते. अचूक पृष्ठभाग सपाटपणा आणि गुळगुळीत पृष्ठभागाच्या समाप्तीच्या अनुषंगाने, सच्छिद्र एल्युमिना चक्स सूक्ष्म-क्रॅक आणि स्क्रॅचची घटना कमी करेल ज्यामुळे वेफरच्या अखंडतेशी तडजोड होऊ शकेल.

एल्युमिना सिरेमिकभव्य कडकपणा, उच्च यांत्रिक सामर्थ्य, विस्ताराचे कमी थर्मल गुणांक आणि उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता आहे ज्यामुळे अचूक अर्धसंवाहक अनुप्रयोगासाठी व्यावहारिक सामग्री आहे. तसेच, त्याच्या रासायनिक जडत्व म्हणजे ते ids सिडस्, अल्कलिस आणि प्लाझ्मा सहन करू शकतात, तर पोशाख-प्रतिरोधक गुणधर्म टिकाऊपणा सुनिश्चित करतात, हे फायदे एल्युमिना मायक्रोपोरस व्हॅक्यूम चक्ससाठी निवडीची सामग्री बनवतात आणि विश्वसनीयता आणि कामगिरीची अंदाज दोन्ही प्रदान करतात.

शेवटी, सच्छिद्र एल्युमिना चक्स एकसमान आणि वाचनीय वेफर हाताळणीसाठी डिझाइन केलेले आहेत. यांत्रिक ताणतणाव आणि वेफर नुकसान कमी करणे कमी करताना त्याची मायक्रोपोरस ब्लॅक अल्युमिना स्ट्रक्चर अगदी व्हॅक्यूम सोशोर्शन (एकरूपता) ऑफर करते. एक चक म्हणून, थकबाकी थर्मल, मेकॅनिकल आणि रासायनिक गुणधर्मांसह भरीव आणि इष्टतम पोर्शिटी, कठोर बनावट परिस्थितीत वेफर सुरक्षा, मूल्य आणि ऑपरेशनची विश्वसनीयता अनुकूलित करण्यात मदत करते. सच्छिद्र एल्युमिना चक्स उत्पादकांना देऊ शकतात अशा मजबूत, एकसमान आणि सुरक्षित हाताळणीचे उत्कृष्ट संयोजन फक्त दुर्मिळ आणि अद्वितीय आहे.