सेमीकंडक्टर उपकरणांसाठी गॅस इनलेट रिंग

सेमीकंडक्टर उपकरणांसाठी सेमीकोरेक्स गॅस इनलेट रिंग SiC कोटेड आहे, जी दाट, परिधान-प्रतिरोधक सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग आहे. यात उच्च गंज आणि उष्णता प्रतिरोधक गुणधर्म तसेच उत्कृष्ट थर्मल चालकता आहे. आम्ही रासायनिक वाष्प संचय (CVD) प्रक्रियेचा वापर करून ग्रेफाइटवर पातळ थरांमध्ये SiC लागू करतो.

सेमीकंडक्टर उपकरणांसाठी आमची गॅस इनलेट रिंग ही थर्मल प्रोफाइलची समानता सुनिश्चित करून सर्वोत्तम लॅमिनार गॅस प्रवाह पॅटर्न प्राप्त करण्यासाठी डिझाइन केलेली आहे. हे वेफर चिपवर उच्च-गुणवत्तेची एपिटॅक्सियल वाढ सुनिश्चित करून, कोणत्याही दूषित किंवा अशुद्धतेचा प्रसार रोखण्यास मदत करते.

सेमीकंडक्टर उपकरणांसाठी आमच्या गॅस इनलेट रिंगबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.

सेमीकंडक्टर उपकरणांसाठी गॅस इनलेट रिंगचे मापदंड

सेमीकंडक्टर उपकरणांसाठी गॅस इनलेट रिंगची वैशिष्ट्ये

● उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट

● उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता

● गुळगुळीत पृष्ठभागासाठी बारीक SiC क्रिस्टल लेपित

● रासायनिक साफसफाईच्या विरूद्ध उच्च टिकाऊपणा

● मटेरिअल डिझाइन केले आहे जेणेकरुन क्रॅक आणि डेलेमिनेशन होणार नाही.