एचिंगसाठी पॉली-सी बाह्य रिंग्ज

साधारणपणे सुमारे स्थितशॉवरहेड, पॉली-सी बाह्य रिंग एक्झॉस्ट रिंग आणि शॉवरहेड दरम्यान जोडणारा भाग म्हणून कार्य करते. सह सहकार्याने कार्य करतेइलेक्ट्रोस्टॅटिक चक, Si शॉवरहेड, Si फोकस रिंग, Si एक्झॉस्ट रिंग आणि Si शिल्डिंग रिंग, उच्च-सुस्पष्टता नक्षी ऑपरेशनसाठी एक स्थिर आणि विश्वासार्ह प्रक्रिया वातावरण तयार करते.

एचिंगसाठी सेमिकोरेक्स पॉली-सी बाह्य रिंगचे फायदे

एचिंगसाठी सेमीकोरेक्स पॉली-सी बाह्य रिंग अचूकपणे उच्च-गुणवत्तेच्या पॉलिसिलिकॉनपासून तयार केल्या जातात, जे खालील उत्कृष्ट गुणधर्म कार्यप्रदर्शन प्रदान करतात.

1.उच्च स्वच्छता आणि कमी कण सामग्री

2.सुपीरियर उच्च-तापमान प्रतिरोध आणि उच्च थर्मल शॉक प्रतिरोध

3.Dependable गंज प्रतिकार

4.असाधारण विद्युत कार्यप्रदर्शन आणि उच्च विद्युत चालकता एकरूपता

एचिंगसाठी सेमिकोरेक्स पॉली-सी बाह्य रिंग्सची कार्ये

1. स्थिर ग्राउंडिंग कार्यप्रदर्शन

इलेक्ट्रोड ग्राउंडिंग आणि संरक्षणासाठी वापरल्या जाणाऱ्या, एचिंगसाठी सेमीकोरेक्स पॉली-सी बाह्य रिंग स्थिर संचय तसेच कमानीचे नुकसान टाळण्यास सक्षम आहेत आणि इलेक्ट्रोड प्रणालीचे स्थिर ऑपरेशन सुनिश्चित करतात, प्रगत 3D NAND फॅब्रिकेशनच्या प्रक्रियेच्या मागणीची पूर्तता करतात.

2. विश्वसनीय समर्थन

एचिंगसाठी सेमिकोरेक्स पॉली-सी बाह्य रिंग एक्झॉस्ट रिंग आणि शॉवरहेडला जोडणारे आवश्यक घटक म्हणून काम करतात. ते दोन्ही भागांना विश्वसनीय यांत्रिक समर्थन देतात आणि त्यांना योग्य ठिकाणी स्थिर ठेवतात. याव्यतिरिक्त, सेमिकोरेक्स पॉली-सी बाह्य रिंगचा वापर नक्षीकामासाठी केल्याने एचिंग चेंबरवरील प्लाझ्मा इरोशन रोखता येते, जे अशा प्रकारे प्रभावीपणे एचिंग ऑपरेशनची स्थिर अंमलबजावणी सुनिश्चित करते.

3. एचिंग प्रक्रियेसह सुसंगतता

एचिंगसाठी सेमीकोरेक्स पॉली-सी बाह्य रिंग्समध्ये कमी अशुद्धता आणि अपवादात्मक गंज प्रतिरोधकता आहे, सिलिकॉन वेफर्सच्या फॅब्रिकेशनसह उत्कृष्ट सुसंगतता प्रदान करते, जे खोदलेल्या उप-उत्पादन दूषिततेमुळे उद्भवणारे वेफर दोष मोठ्या प्रमाणात कमी करते आणि सेमीकंडक्टर उत्पादनात उच्च उत्पन्न दर सुनिश्चित करते.