पॉली-सी स्लॉटेड रिंग्ज

पॉली-सी स्लॉटेड रिंग सामान्यतः प्रगत सेमीकंडक्टर एचिंग उपकरणांच्या प्रतिक्रिया कक्षामध्ये स्थापित केल्या जातात. ते सिलिकॉनसह सिलिकॉन भागांसह समन्वयाने कार्य करतातफोकस रिंग, सिलिकॉन बाह्य रिंग आणि सिलिकॉनशॉवरहेड्स. हे भाग एचिंग प्रक्रियेसाठी एक स्थिर आणि इष्टतम प्रतिक्रिया वातावरण तयार करू शकतात, उत्कृष्ट याची खात्री करूननक्षीकामसुस्पष्टता आणि प्रक्रिया सुसंगतता.

सेमिकोरेक्स पॉली-सी स्लॉटेड रिंग्सची कार्ये

1. सेमीकोरेक्स पॉली-सी स्लॉटेड रिंग अनेक समान रीतीने वितरित स्लॉटसह सुसज्ज आहेत जे गॅस पॅसेज म्हणून काम करतात, ज्यामुळे प्रतिक्रिया झाल्यानंतर प्रक्रिया वायू सहज बाहेर पडू शकतात.

2. सेमीकोरेक्स पॉली-सी स्लॉटेड रिंग्स उत्कृष्ट प्लाझ्मा नियंत्रण प्राप्त करण्यास सक्षम आहेत, जे सेमीकंडक्टर एचिंग उपकरणांच्या प्रतिक्रिया कक्षासाठी विश्वसनीय संरक्षण प्रदान करतात.

3. सेमीकोरेक्स पॉली-सी स्लॉटेड रिंग इलेक्ट्रिक फील्ड आणि चेंबर प्रेशर समायोजित करण्यात मदत करू शकतात, त्यामुळे अस्थिरता नक्षी प्रक्रियेच्या सुसंगततेवर परिणाम होण्यापासून प्रतिबंधित करते.

उच्च-मानक सामग्रीची निवड

सेमिकोरेक्स पॉली-सी स्लॉटेड रिंग उच्च-गुणवत्तेच्या पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉनपासून 99.9999% पेक्षा जास्त शुद्धता पातळीसह तयार केल्या जातात, जे त्यांना खालीलप्रमाणे उत्कृष्ट गुणधर्म प्रदान करतात.

1. अति-उच्च शुद्धता आणि अत्यंत कमी अशुद्धता सामग्री.

2. अपवादात्मक प्लाझ्मा गंज प्रतिकार.

3. अनुकूल विद्युत गुणधर्म, प्रतिकार एकरूपतेसह: RRG ≤ 5%, कमी res. (<0.02), मधला रा. (1-4), आणि उच्च रिजोल्यूशन. (७०-९०).

उत्पादन क्षमता आणि गुणवत्ता नियंत्रण

प्रगत मशीनिंग उपकरणे आणि अनुभवी तांत्रिक टीमने सुसज्ज, Semicorex प्रत्येक उत्पादन प्रक्रियेवर काटेकोरपणे नियंत्रण ठेवते आणि आमच्या मूल्यवान ग्राहकांना उच्च-गुणवत्तेच्या आणि चांगल्या-जुळलेल्या पॉली-सी स्लॉटेड रिंग्स ऑफर करते. अतिरिक्त, Semicorex चीप, स्क्रॅच, क्रॅक आणि डाग यांसारख्या दोषांपासून मुक्त असल्याची खात्री करण्यासाठी तयार पॉली-सी स्लॉटेड रिंग्सवर डायमेंशनल मापन, प्रतिरोधकता चाचणी आणि व्हिज्युअल तपासणीवर कडक नियंत्रण ठेवते.