उत्पादने

सेमीकोरेक्स आरटीपी रिंग ही एक SiC-कोटेड ग्रेफाइट रिंग आहे जी रॅपिड थर्मल प्रोसेसिंग (RTP) प्रणालींमध्ये उच्च-कार्यक्षमतेसाठी डिझाइन केलेली आहे. सेमीकंडक्टर उत्पादनात उच्च टिकाऊपणा, अचूकता आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करून आमच्या प्रगत साहित्य तंत्रज्ञानासाठी सेमिकोरेक्स निवडा.*

सेमीकोरेक्सची आरटीपी ग्रेफाइट कॅरियर प्लेट सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी योग्य उपाय आहे, ज्यामध्ये एपिटॅक्सियल ग्रोथ आणि वेफर हाताळणी प्रक्रिया समाविष्ट आहे. आमचे उत्पादन उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता प्रदान करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे, उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधकतेसह, एपिटॅक्सी ससेप्टर्स डिपॉझिशन वातावरणाच्या अधीन आहेत याची खात्री करून.

Semicorex RTP SiC कोटिंग वाहक उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता प्रदान करते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी हे योग्य समाधान आहे. उच्च-गुणवत्तेच्या SiC लेपित ग्रेफाइटसह, हे उत्पादन एपिटॅक्सियल वाढीसाठी सर्वात कठोर निक्षेपण वातावरणाचा सामना करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म RTA, RTP किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी विश्वसनीय कामगिरी सुनिश्चित करतात.

Semicorex RTP/RTA SiC कोटिंग वाहक हे डिपॉझिशन वातावरणातील सर्वात कठीण परिस्थितीला तोंड देण्यासाठी इंजिनिअर केलेले आहे. उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधकतेसह, हे उत्पादन एपिटॅक्सियल वाढीसाठी इष्टतम कार्यप्रदर्शन प्रदान करण्यासाठी डिझाइन केले आहे. SiC कोटेड कॅरियरमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आहेत, ज्यामुळे RTA, RTP किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईची विश्वसनीय कामगिरी सुनिश्चित होते.

MOCVD साठी Semicorex SiC Graphite RTP वाहक प्लेट उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता देते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी ते योग्य उपाय बनते. उच्च-गुणवत्तेच्या SiC कोटेड ग्रेफाइटसह, हे उत्पादन एपिटॅक्सियल वाढीसाठी सर्वात कठोर निक्षेपण वातावरणाचा सामना करण्यासाठी इंजिनियर केलेले आहे. उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म RTA, RTP किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी विश्वसनीय कामगिरी सुनिश्चित करतात.

एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी सेमीकोरेक्स SiC कोटेड RTP कॅरियर प्लेट सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी योग्य उपाय आहे. उच्च-गुणवत्तेचे कार्बन ग्रेफाइट ससेप्टर्स आणि ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स इत्यादींच्या पृष्ठभागावर MOCVD द्वारे प्रक्रिया केलेल्या क्वार्ट्ज क्रूसिबलसह, हे उत्पादन वेफर हाताळणी आणि एपिटॅक्सियल ग्रोथ प्रक्रियेसाठी आदर्श आहे. SiC कोटेड वाहक उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म सुनिश्चित करते, ज्यामुळे ते RTA, RTP किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी एक विश्वासार्ह पर्याय बनते.