सिलिकॉन एचिंग रिंग्ज

सिलिकॉन एचिंग रिंग हे CCP/ICP इच उपकरणाच्या प्लाझ्मा इच चेंबरमधील आवश्यक घटक आहेत आणि ते सामान्यत: सेमीकंडक्टर वेफरच्या आसपास ठेवलेले असतात. त्यांची प्राथमिक कार्ये अर्धसंवाहक वेफरला समर्थन देणे, एकसमान प्लाझ्मा वितरण राखणे, वेफरच्या काठाचे संरक्षण करणे आणि अशा प्रकारे प्लाझ्मा एचिंग प्रक्रियेसाठी इष्टतम ऑपरेटिंग परिस्थिती निर्माण करण्यात मदत करणे आहे.

सेमिकोरेक्स सिलिकॉन एचिंग रिंगचे फायदे

1. प्रीमियम सामग्रीची निवड

सेमिकोरेक्स सिलिकॉन एचिंग रिंग्ज काळजीपूर्वक निवडलेल्या उच्च-शुद्धतेच्या एमसीझेडमधून तयार केल्या जातात.मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन, जे पारंपारिक CZ मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉनपेक्षा खालील उत्कृष्ट गुणधर्म प्रदान करते.

उच्च शुद्धता: शुद्धता 99.9999999% पेक्षा जास्त आहे, याचा अर्थ Semicorex सिलिकॉन एचिंग रिंगमध्ये जवळजवळ कोणतीही अशुद्धता नसते. ही अति-उच्च शुद्धता नक्षीकाम प्रक्रियेदरम्यान घटकातील अशुद्धतेचा हस्तक्षेप प्रभावीपणे टाळू शकते, ज्यामुळे उच्च नक्षीकामाच्या अचूकतेची हमी मिळते.

स्थिर रचना: MCZ मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉनमध्ये पारंपारिक CZ मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉनपेक्षा कमी दोषांसह एक उत्कृष्ट क्रिस्टल रचना आहे. या स्थिर क्रिस्टल स्ट्रक्चरमुळे सेमिकोरेक्स सिलिकॉन एचिंग रिंग्स प्लाझ्मा क्षरणासाठी वाढीव गंज प्रतिरोधक क्षमता देतात आणि त्यांना कठोर कोरीव कामाच्या परिस्थितीला तोंड देण्यास सक्षम करते.

उत्कृष्ट प्रतिरोधक एकरूपता:सेमिकोरेक्स सिलिकॉन एचिंग रिंगRRG < 5% सह अपवादात्मक प्रतिकार एकरूपता प्रदान करा. कमी Res. (<0.02 Ω·cm), मध्य रेस. (0.2–25 Ω·cm), उच्च रेस. (>100 Ω·cm). ही उत्कृष्ट प्रतिरोधकता एकरूपता जास्त किंवा कमी प्रतिरोधकतेमुळे होणारे असमान प्लाझ्मा वितरण कमी करू शकते, जे उच्च-सुस्पष्टता प्लाझ्मा एचिंगसाठी आदर्श इलेक्ट्रिक फील्डमध्ये योगदान देते.

2. अचूक प्रक्रिया आणि कठोर गुणवत्ता तपासणी

Semicorex एक अनुभवी तांत्रिक कार्यसंघ आहे जो आमच्या मौल्यवान ग्राहकांसाठी वैयक्तिकृत सानुकूलन आणि तांत्रिक मूल्यमापन प्रदान करू शकतो आणि उत्पादनाच्या गुणवत्तेची हमी देण्यासाठी पद्धतशीर प्रक्रिया आणि तपासणी प्रक्रिया देखील स्थापित केल्या आहेत.

लवचिक कस्टमायझेशन सेवा: सेमिकोरेक्स ग्राहकांच्या रेखाचित्रांवर आधारित सानुकूलनास समर्थन देते आणि सिलिकॉन एचिंग रिंगचा कमाल सानुकूल व्यास 470 मिमी पर्यंत असू शकतो.

उच्च-मानक पृष्ठभाग उपचार: पॉलिशिंगची अचूकता Ra < 0.1 µm मध्ये काटेकोरपणे नियंत्रित केली जाऊ शकते आणि बारीक पीसल्याने Ra > 0.1 µm पृष्ठभाग पूर्ण होते.

कडक गुणवत्तेची तपासणी: सिलिकॉन एचिंग रिंग चिप्स, स्क्रॅच, क्रॅक, डाग आणि इतर दोषांपासून मुक्त आहेत याची खात्री करण्यासाठी मितीय मापन, प्रतिरोधकता चाचणी आणि व्हिज्युअल तपासणी केली जाईल.