MOCVD एपिटॅक्सी रिसेप्टर

एपिटॅक्सी ऍप्लिकेशन्सची मागणी करण्याचे फायदे:

अति-उच्च शुद्धता:द MOCVD Epitaxy Susceptor ची रचना अति-उच्च शुद्धता पातळी प्राप्त करण्यासाठी केली गेली आहे, ज्यामुळे वाढत्या एपिटॅक्सियल स्तरांमध्ये अवांछित अशुद्धता समाविष्ट होण्याचा धोका कमी होतो. उच्च वाहक गतिशीलता राखण्यासाठी, इष्टतम डोपिंग प्रोफाइल साध्य करण्यासाठी आणि शेवटी, उच्च-कार्यक्षमता सेमीकंडक्टर उपकरणे साकारण्यासाठी ही अपवादात्मक शुद्धता महत्त्वपूर्ण आहे.

अपवादात्मक थर्मल शॉक प्रतिरोध:MOCVD Epitaxy ससेप्टर थर्मल शॉकसाठी उल्लेखनीय प्रतिकार सादर करते, तापमानातील जलद बदल आणि MOCVD प्रक्रियेत अंतर्भूत असलेले ग्रेडियंट सहन करते. ही स्थिरता गंभीर हीटिंग आणि कूलिंग टप्प्यांमध्ये सातत्यपूर्ण आणि विश्वासार्ह कामगिरी सुनिश्चित करते, वेफर झुकण्याचा धोका, तणाव-प्रेरित दोष आणि प्रक्रियेतील व्यत्यय कमी करते.

उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार:MOCVD Epitaxy ससेप्टर MOCVD मध्ये वापरल्या जाणाऱ्या प्रतिक्रियाशील वायू आणि रसायनांच्या विस्तृत श्रेणीला अपवादात्मक प्रतिकार दर्शवितो, ज्यामध्ये भारदस्त तापमानात तयार होऊ शकणाऱ्या संक्षारक उपउत्पादनांचा समावेश आहे. ही जडत्व एपिटॅक्सियल लेयर दूषित होण्यास प्रतिबंध करते आणि जमा केलेल्या सेमीकंडक्टर सामग्रीची शुद्धता सुनिश्चित करते, इच्छित विद्युत आणि ऑप्टिकल गुणधर्म साध्य करण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे.

पूर्ण मध्ये उपलब्धताx आकार: MOCVD Epitaxy ससेप्टरला MOCVD अणुभट्टीमध्ये वायू प्रवाह गतिशीलता आणि तापमान एकरूपता अनुकूल करण्यासाठी जटिल आकार आणि भूमितींमध्ये अचूकपणे मशीन केले जाऊ शकते. ही सानुकूलित डिझाइन क्षमता सब्सट्रेट वेफर्सचे एकसमान गरम करण्यास सक्षम करते, तापमानातील फरक कमी करते ज्यामुळे विसंगत एपिटॅक्सियल वाढ आणि डिव्हाइस कार्यप्रदर्शन होऊ शकते.