सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या फ्रंट-एंड प्रक्रियेमध्ये (एफईओएल), वेफरला विविध प्रक्रियेच्या उपचारांच्या अधीन असणे आवश्यक आहे, विशेषत: वेफरला विशिष्ट तापमानात गरम करणे आवश्यक आहे, आणि तेथे कठोर आवश्यकता आहेत, कारण तापमानाच्या एकसमानतेचा उत्पादनाच्या उत्पादनावर खूप महत्वाचा प्रभाव पडतो; त्याच वेळी, ......
पुढे वाचा