सेमीकोरेक्स प्लॅनेटरी सासेप्टर एक एसआयसी कोटिंगसह एक उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट घटक आहे, एकसमान उष्णता वितरण, रासायनिक प्रतिरोध आणि उच्च-परिशुद्धता एपिटॅक्सियल लेयर ग्रोथ सुनिश्चित करण्यासाठी आयएक्सट्रॉन जी 5+ अणुभट्ट्यांसाठी डिझाइन केलेले.*
सेमीकोरेक्स प्लॅनेटरी सासेप्टर हा सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी अणुभट्ट्यांसाठी एक अपरिहार्य घटक आहे, जो विशेषत: ixtstron G5+ उपकरणांसाठी अभियंता आहे. उच्च-शुद्धता ग्रेफाइटपासून तयार केलेले आणिसिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) सह लेपित, हा संवेदनाक्षम उच्च-तापमान वातावरणात उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, अपवादात्मक रासायनिक प्रतिकार आणि अतुलनीय कामगिरीची हमी देतो.
आयएक्सट्रॉन जी 5+ एपिटॅक्सी अणुभट्टी जीएएन, एसआयसी आणि इतर कंपाऊंड सेमीकंडक्टर ग्रोथ प्रक्रियेसाठी उद्योगातील बेंचमार्क आहे. ग्रहांचा संवेदनाक्षम गॅस प्रवाह अनुकूलित करण्यात, अचूक वेफर रोटेशन सुनिश्चित करण्यासाठी, अचूक तापमान नियंत्रण राखण्यासाठी आणि एपिटेक्सियल थरांची एकसमान जमा करण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे. त्याचे नाविन्यपूर्ण डिझाइन प्रक्रियेच्या पुनरावृत्तीची लक्षणीय वाढ करते, ज्यामुळे उच्च-खंड उत्पादन वातावरणासाठी ती एक आदर्श निवड बनते.
मुख्य वैशिष्ट्ये
- प्रगत सामग्री रचना: एसआयसी कोटिंगसह उच्च-शुद्धता ग्रेफाइटपासून बनविलेले, कठोर प्रक्रियेच्या परिस्थितीस वर्धित टिकाऊपणा आणि प्रतिकार प्रदान करते.
- ऑप्टिमाइझ्ड थर्मल कामगिरी: एकसमान उष्णता वितरण सुनिश्चित करते, उच्च-परिशुद्धता एपिटॅक्सियल लेयर वाढीसाठी गंभीर.
- रासायनिक प्रतिकार: एसआयसी कोटिंग ग्रॅफाइट ऑक्सिडेशनला प्रतिबंधित करते, संवेदनाक्षमतेचे आयुष्य वाढवते आणि प्रक्रिया शुद्धता राखते.
- प्रेसिजन अभियांत्रिकी: अखंड एकत्रीकरण आणि इष्टतम अणुभट्टी कार्यक्षमता सुनिश्चित करण्यासाठी, ixttron G5+ सिस्टमच्या कठोर आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी डिझाइन केलेले.
- उच्च पृष्ठभाग एकरूपता: कण दूषितता कमी करते, सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये उत्कृष्ट वेफर गुणवत्ता आणि उच्च उत्पन्नाचे समर्थन करते.
आमच्या ग्रहांच्या संवेदनाक्षमतेचे फायदे
- विस्तारित सेवा जीवन: दSic कोटिंगपरिधान आणि अश्रू कमी करते, परिणामी कमी बदलण्याची वारंवारता आणि ऑपरेशनल खर्च कमी होतो.
- सुधारित प्रक्रिया स्थिरता: सुसंगत गरम आणि कमीतकमी थर्मल ग्रेडियंट्स सुनिश्चित करते, ज्यामुळे उच्च-गुणवत्तेचे वेफर उत्पादन होते.
- सुसंगतता आणि सानुकूलन: विशिष्ट आयक्सट्रॉन जी 5+ प्रक्रियेच्या आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी मानक आणि सानुकूलित डिझाइनमध्ये उपलब्ध.
ग्रेफाइटभाग अर्धसंवाहक प्रक्रियेमध्ये एक अपरिहार्य आणि महत्वाची भूमिका निभावतात. ग्रेफाइट सामग्रीच्या गुणवत्तेचा तयार उत्पादनांच्या गुणवत्तेवर चांगला परिणाम होतो. आमची ग्रेफाइट बॅच सुसंगतता आणि सामग्री एकसंधपणा उत्पादन प्रक्रियेद्वारे नियंत्रित आणि हमी दिली जाऊ शकते.
1. लहान बॅचचे उत्पादन, कार्बनायझेशन फर्नेस केवळ 50 क्यूबिक मीटर असलेल्या लहान भट्टीचा वापर करते
2. सामग्रीच्या प्रत्येक तुकड्याचे परीक्षण केले जाते आणि ट्रॅक केले जाते
3. तापमानातील फरक अगदी लहान श्रेणीत ठेवला आहे हे सुनिश्चित करण्यासाठी भट्टीच्या जागेत मल्टी-पॉइंट तापमान देखरेख
4. तापमानातील फरक अगदी लहान श्रेणीत ठेवला आहे हे सुनिश्चित करण्यासाठी सामग्रीवर मल्टी-पॉइंट तापमान देखरेख
सेमीकोरेक्स प्लॅनेटरी सासेप्टर हे आयक्सट्रॉन जी 5+ अणुभट्ट्यांसाठी प्रीमियम सोल्यूशन आहे, जे थकबाकी थर्मल स्थिरता, रासायनिक प्रतिरोध आणि अचूक कामगिरी ऑफर करते. सर्वात मागणी असलेल्या सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेसाठी अभियंता, हे जास्त वेफर उत्पादन चालवते, दूषित होण्याचा धोका कमी करते आणि उपकरणांचे आयुष्य वाढवते. अतुलनीय परिणामांसाठी आपल्या एपिटॅक्सी सिस्टमला उच्च-स्तरीय संवेदनशीलसह श्रेणीसुधारित करा.