सेमीकंडक्टरसाठी सेमीकोरेक्स PSS एचिंग कॅरियर प्लेट विशेषत: उच्च-तापमान आणि कठोर रासायनिक स्वच्छता वातावरणासाठी आवश्यक आहे जे एपिटॅक्सियल वाढ आणि वेफर हाताळणी प्रक्रियेसाठी आवश्यक आहे. सेमीकंडक्टरसाठी आमची अल्ट्रा-प्युअर PSS एचिंग कॅरियर प्लेट MOCVD आणि एपिटॅक्सी ससेप्टर्स, पॅनकेक किंवा सॅटेलाइट प्लॅटफॉर्म सारख्या पातळ-फिल्म डिपॉझिशन टप्प्यांमध्ये वेफर्सला समर्थन देण्यासाठी डिझाइन केलेली आहे. आमच्या SiC कोटेड वाहकामध्ये उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधक, उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आणि उच्च थर्मल चालकता आहे. आम्ही आमच्या ग्राहकांना किफायतशीर उपाय प्रदान करतो आणि आमची उत्पादने अनेक युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारपेठा व्यापतात. सेमिकोरेक्स चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी उत्सुक आहे.
सेमीकोरेक्समधील सेमीकंडक्टरसाठी PSS एचिंग कॅरियर प्लेट हे MOCVD, एपिटॅक्सी ससेप्टर्स, पॅनकेक किंवा सॅटेलाइट प्लॅटफॉर्म आणि वेफर हाताळणी प्रक्रिया जसे की एचिंगसारख्या पातळ-फिल्म डिपॉझिशन टप्प्यांसाठी आदर्श उपाय आहे. आमचे अल्ट्रा-प्युअर ग्रेफाइट वाहक वेफर्सला समर्थन देण्यासाठी आणि कठोर रासायनिक साफसफाई आणि उच्च-तापमान वातावरणाचा सामना करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. SiC लेपित वाहक उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिकार, उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आणि उच्च थर्मल चालकता आहे. आमची उत्पादने किफायतशीर आहेत आणि किंमतीचा चांगला फायदा आहे.
सेमीकंडक्टरसाठी आमच्या PSS एचिंग कॅरियर प्लेटबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.
सेमीकंडक्टरसाठी PSS एचिंग कॅरियर प्लेटचे पॅरामीटर्स
CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये |
||
SiC-CVD गुणधर्म |
||
क्रिस्टल स्ट्रक्चर |
FCC β फेज |
|
घनता |
g/cm ³ |
3.21 |
कडकपणा |
विकर्स कडकपणा |
2500 |
धान्य आकार |
μm |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
उष्णता क्षमता |
J kg-1 K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल सामर्थ्य |
MPa (RT 4-पॉइंट) |
415 |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
सेमीकंडक्टरसाठी PSS एचिंग कॅरियर प्लेटची वैशिष्ट्ये
- सोलणे टाळा आणि सर्व पृष्ठभागावर कोटिंग सुनिश्चित करा
उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस पर्यंत उच्च तापमानात स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनेशन परिस्थितीत CVD रासायनिक वाष्प जमा करून बनविलेले.
गंज प्रतिकार: उच्च कडकपणा, दाट पृष्ठभाग आणि सूक्ष्म कण.
गंज प्रतिकार: आम्ल, अल्कली, मीठ आणि सेंद्रिय अभिकर्मक.
- सर्वोत्कृष्ट लॅमिनार वायू प्रवाह नमुना प्राप्त करा
- थर्मल प्रोफाइलच्या समानतेची हमी
- कोणतीही दूषितता किंवा अशुद्धता पसरवण्यास प्रतिबंध करा