SiC लेपित PSS एचिंग कॅरियर

एपिटॅक्सी किंवा एमओसीव्हीडी सारख्या पातळ फिल्म डिपॉझिशन फेजसाठी किंवा एचिंग सारख्या वेफर हाताळणी प्रक्रियेसाठीच नाही, सेमिकोरेक्स अल्ट्रा-प्युअर SiC कोटेड PSS एचिंग कॅरियरचा पुरवठा करते जे वेफर्सला सपोर्ट करण्यासाठी वापरतात. प्लाझ्मा इच किंवा ड्राय इचमध्ये, हे उपकरण, एपिटॅक्सी ससेप्टर्स, पॅनकेक किंवा MOCVD साठी सॅटेलाइट प्लॅटफॉर्म, प्रथम डिपॉझिशन वातावरणाच्या अधीन असतात, म्हणून त्यात उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधक असतो. SiC कोटेड PSS एचिंग कॅरियरमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म देखील आहेत.

SiC कोटेड PSS (नमुनादार नीलम सब्सट्रेट) एचिंग वाहक LED (लाइट एमिटिंग डायोड) उपकरणांच्या निर्मितीमध्ये वापरले जातात. PSS इच वाहक गॅलियम नायट्राइड (GaN) च्या पातळ फिल्मच्या वाढीसाठी सब्सट्रेट म्हणून काम करते जे LED संरचना बनवते. PSS इच वाहक नंतर ओल्या नक्षी प्रक्रियेचा वापर करून LED संरचनेतून काढून टाकला जातो, ज्यामुळे LED ची प्रकाश काढण्याची कार्यक्षमता वाढते.

SiC Coated PSS Etching Carrier चे पॅरामीटर्स

उच्च शुद्धता SiC कोटेड PSS एचिंग कॅरियरची वैशिष्ट्ये

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांची घनता चांगली आहे आणि ते उच्च तापमान आणि संक्षारक कार्य वातावरणात चांगली संरक्षणात्मक भूमिका बजावू शकतात.

- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथसाठी वापरल्या जाणाऱ्या सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टरची पृष्ठभागाची सपाटता खूप जास्त असते.

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड लेयरमधील थर्मल विस्तार गुणांकातील फरक कमी करा, क्रॅकिंग आणि डेलेमिनेशन टाळण्यासाठी बाँडिंग ताकद प्रभावीपणे सुधारा.

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आहेत.

- उच्च हळुवार बिंदू, उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध, गंज प्रतिकार.