PSS एचिंग ऍप्लिकेशनसाठी सिलिकॉन इच प्लेट

PSS एचिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी सेमीकोरेक्सची सिलिकॉन इच प्लेट सर्वात जास्त मागणी असलेल्या एपिटॅक्सी उपकरणांच्या ऍप्लिकेशन्ससाठी तयार केली गेली आहे. आमचे अल्ट्रा-प्युअर ग्रेफाइट वाहक कठोर वातावरण, उच्च तापमान आणि कठोर रासायनिक साफसफाईचा सामना करू शकतात. SiC लेपित वाहक उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म, उच्च थर्मल चालकता आणि किफायतशीर आहे.

PSS एचिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी सिलिकॉन इच प्लेटचे पॅरामीटर्स

PSS एचिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी सिलिकॉन इच प्लेटची वैशिष्ट्ये

- सोलणे टाळा आणि सर्व पृष्ठभागावर कोटिंग सुनिश्चित करा

उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस पर्यंत उच्च तापमानात स्थिर

उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनेशन परिस्थितीत CVD रासायनिक वाष्प जमा करून बनविलेले.

गंज प्रतिकार: उच्च कडकपणा, दाट पृष्ठभाग आणि सूक्ष्म कण.

गंज प्रतिकार: आम्ल, अल्कली, मीठ आणि सेंद्रिय अभिकर्मक.

- सर्वोत्कृष्ट लॅमिनार वायू प्रवाह नमुना प्राप्त करा

- थर्मल प्रोफाइलच्या समानतेची हमी

- कोणतीही दूषितता किंवा अशुद्धता पसरवण्यास प्रतिबंध करा