SiC ALD रिसेप्टर

सेमीकोरेक्सचे फायदेSiC ALD रिसेप्टर:

उच्च-तापमान स्थिरता:SiC ALD ससेप्टर भारदस्त तापमानात (1600°C पर्यंत) त्याची संरचनात्मक अखंडता राखते, उच्च-तापमानाच्या ALD प्रक्रियांना सक्षम करते ज्यामुळे सुधारित विद्युत गुणधर्मांसह घनदाट फिल्म तयार होतात.

रासायनिक जडत्व:SiC ALD ससेप्टर ALD मध्ये वापरल्या जाणाऱ्या रसायने आणि पूर्वसूचकांच्या विस्तृत श्रेणीसाठी उत्कृष्ट प्रतिकार प्रदर्शित करते, दूषित होण्याचे धोके कमी करते आणि चित्रपटाची गुणवत्ता सुनिश्चित करते.

समान तापमान वितरण:SiC ALD ससेप्टरची उच्च थर्मल चालकता ससेप्टरच्या पृष्ठभागावर एकसमान तापमान वितरणास प्रोत्साहन देते, ज्यामुळे एकसमान फिल्म डिपॉझिशन होते आणि उपकरणाची कार्यक्षमता सुधारते.

कमी आउटगॅसिंग:SiC मध्ये कमी आउटगॅसिंग गुणधर्म आहेत, याचा अर्थ ते उच्च तापमानात कमीतकमी अशुद्धता सोडते. स्वच्छ प्रक्रिया वातावरण राखण्यासाठी आणि जमा केलेल्या फिल्मचे दूषित होण्यापासून रोखण्यासाठी हे महत्त्वपूर्ण आहे.

प्लाझ्मा प्रतिकार:SiC प्लाझ्मा एचिंगला चांगला प्रतिकार दर्शवते, ज्यामुळे ते प्लाझ्मा-वर्धित ALD (PEALD) प्रक्रियेशी सुसंगत होते.

दीर्घ आयुष्य:SiC ALD ससेप्टरची टिकाऊपणा आणि झीज सहन करण्याची प्रतिकारक्षमता ससेप्टरच्या दीर्घ आयुष्यासाठी अनुवादित करते, वारंवार बदलण्याची गरज कमी करते आणि एकूण ऑपरेटिंग खर्च कमी करते.

ALD आणि CVD ची तुलना:

ॲटोमिक लेयर डिपॉझिशन (ALD) आणि केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (CVD) ही दोन्ही विशिष्ट वैशिष्ट्यांसह पातळ-फिल्म डिपॉझिशन तंत्रे आहेत. विशिष्ट अनुप्रयोगासाठी सर्वात योग्य पद्धत निवडण्यासाठी त्यांच्यातील फरक समजून घेणे महत्वाचे आहे.

ALD वि CVD

ALD चे मुख्य फायदे:

अपवादात्मक जाडी नियंत्रण आणि एकरूपता:जटिल भूमितींवर अणु-स्तरीय अचूकता आणि कॉन्फॉर्मल कोटिंग्ज आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी आदर्श.

कमी तापमान प्रक्रिया:तापमान-संवेदनशील सब्सट्रेट्स आणि विस्तृत सामग्री निवडीवर जमा करणे सक्षम करते.

उच्च चित्रपट गुणवत्ता:कमी अशुद्धता असलेल्या दाट, पिनहोल-मुक्त चित्रपटांमध्ये परिणाम.

CVD चे प्रमुख फायदे:

उच्च जमा दर:जलद डिपॉझिशन दर आणि जाड फिल्म्स आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी योग्य.

कमी खर्च:मोठ्या-क्षेत्रातील जमा आणि कमी मागणी असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी अधिक किफायतशीर.

अष्टपैलुत्व:धातू, सेमीकंडक्टर आणि इन्सुलेटरसह विस्तृत सामग्री जमा करू शकते.

पातळ फिल्म डिपॉझिशन पद्धत तुलना