SiC लेपित एपिटॅक्सी डिस्क

सेमीकोरेक्स SiC कोटेड एपिटॅक्सी डिस्कमध्ये सेमीकंडक्टर उद्योगातील अतुलनीय फायद्यांची श्रेणी आहे, ज्याचे पुढीलप्रमाणे वर्णन केले जाऊ शकते:

थर्मल विस्ताराचे कमी गुणांक: SiC कोटेड एपिटॅक्सी डिस्कमध्ये थर्मल विस्ताराचे लक्षणीय कमी गुणांक आहे, जे सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये महत्त्वपूर्ण आहे जेथे आयामी स्थिरता आवश्यक आहे. हे गुणधर्म हे सुनिश्चित करते की SiC Coated Epitaxy डिस्क तापमानातील भिन्नता अंतर्गत कमीत कमी विस्तार किंवा आकुंचन घेते, उच्च-तापमान प्रक्रियेदरम्यान अर्धसंवाहक संरचनेची अखंडता राखते.

उच्च-तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध: उल्लेखनीय ऑक्सिडेशन प्रतिरोधासह अभियंता असलेली, ही SiC कोटेड एपिटॅक्सी डिस्क भारदस्त तापमानात त्याची संरचनात्मक अखंडता राखून ठेवते, ज्यामुळे ते उच्च-तापमान अर्धसंवाहक प्रक्रियेतील अनुप्रयोगांसाठी एक आदर्श घटक बनते जेथे थर्मल स्थिरता महत्त्वपूर्ण असते.

दाट आणि बारीक-सच्छिद्र पृष्ठभाग: SiC कोटेड एपिटॅक्सी डिस्कच्या पृष्ठभागाची घनता आणि बारीक सच्छिद्रता द्वारे वैशिष्ट्यीकृत आहे, जे विविध कोटिंग्जला चिकटून ठेवण्यासाठी पृष्ठभागाचा एक इष्टतम पोत प्रदान करते आणि नाजूक पृष्ठभागास हानी न करता सेमीकंडक्टर वेफर प्रक्रियेदरम्यान प्रभावी सामग्री काढण्याची खात्री देते.

उच्च कडकपणा: कोटिंग ग्रेफाइट डिस्कला उच्च पातळीची कठोरता प्रदान करते, जी स्क्रॅचिंग आणि परिधान करण्यास प्रतिरोधक असते, अशा प्रकारे SiC कोटेड एपिटॅक्सी डिस्कचे सेवा आयुष्य वाढवते आणि सेमीकंडक्टर उत्पादन वातावरणात बदलण्याची वारंवारता कमी करते.

आम्ल, बेस, क्षार आणि सेंद्रिय अभिकर्मकांना प्रतिकार: SiC कोटेड Epitaxy डिस्कचे CVD SiC कोटिंग ऍसिड, बेस, क्षार आणि सेंद्रिय अभिकर्मकांसह विस्तृत संक्षारक घटकांना उत्कृष्ट प्रतिकार देते, ज्यामुळे ते वातावरणात वापरण्यासाठी योग्य बनते. रासायनिक प्रदर्शन ही चिंतेची बाब आहे, ज्यामुळे उपकरणांची विश्वासार्हता आणि दीर्घायुष्य वाढते.

Beta-SiC पृष्ठभाग स्तर: SiC कोटेड Epitaxy डिस्कच्या SIC (सिलिकॉन कार्बाइड) पृष्ठभागाच्या स्तरामध्ये बीटा-SiC असते, ज्यामध्ये चेहरा-केंद्रित क्यूबिक (FCC) क्रिस्टल रचना असते. ही क्रिस्टल रचना कोटिंगच्या अपवादात्मक यांत्रिक आणि थर्मल गुणधर्मांमध्ये योगदान देते, डिस्कला उत्कृष्ट सामर्थ्य आणि थर्मल चालकता देते, जे सेमीकंडक्टर प्रक्रिया उपकरणांसाठी आवश्यक आहे.