SiC लेपित सपोर्ट रिंग

सेमीकोरेक्स SiC कोटेड सपोर्ट रिंग सेमीकंडक्टर वेफर्सवर जमा केलेल्या एपिटॅक्सियल लेयरची अचूकता आणि गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते.

SiC कोटेड सपोर्ट रिंग एक मजबूत संरक्षणात्मक स्तर प्रदान करते जी एपिटॅक्सियल ग्रोथ अणुभट्ट्यांमध्ये विशिष्ट तापमान आणि संक्षारक वातावरणाचा सामना करते. SiC चे उत्कृष्ट थर्मल गुणधर्म संपूर्ण वेफर पृष्ठभागावर समान तापमान वितरण सुनिश्चित करतात, थर्मल ग्रेडियंट आणि ताण कमी करतात. ही स्थिरता कमीत कमी दोषांसह उच्च-गुणवत्तेचे एपिटॅक्सियल स्तर साध्य करण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे.

SiC कोटेड सपोर्ट रिंग एपिटॅक्सियल प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या प्रतिक्रियाशील वायूंच्या रासायनिक हल्ल्यांना प्रतिकार करते, सपोर्ट रिंगचे ऑपरेशनल आयुष्य वाढवते आणि प्रक्रियेची अखंडता राखते. या प्रतिकारामुळे दूषित होण्याचे धोके कमी होतात, उच्च शुद्धता आणि सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या चांगल्या कार्यक्षमतेत योगदान होते.

SiC कोटेड सपोर्ट रिंग अचूक वेफर पोझिशनिंग राखते, एकसमान लेयर डिपॉझिशनसाठी महत्त्वपूर्ण आहे. उच्च-तापमानाच्या परिस्थितीत SiC कोटेड सपोर्ट रिंगची संरचनात्मक अखंडता एकाधिक प्रक्रिया चक्रांवर सातत्यपूर्ण कामगिरी सुनिश्चित करते.

सेमीकोरेक्स SiC कोटेड सपोर्ट रिंग हा सेमीकंडक्टर तंत्रज्ञानाला प्रगतीपथावर नेणारा एक महत्त्वाचा घटक आहे, ज्यामुळे इष्टतम कामगिरी आणि विश्वासार्हतेसह उच्च-गुणवत्तेच्या उपकरणांचे उत्पादन सुनिश्चित होते.