एसआयसी लेपित वेफर कॅरियर्स

सेमीकोरेक्स एसआयसी कोटेड वेफर कॅरियर्स हे प्रगत घटक आहेत जे एपिटॅक्सियल ग्रोथ, डिफ्यूजन आणि सीव्हीडी सारख्या सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगांमध्ये उच्च-तापमान प्रक्रियेसाठी वेफर्सना समर्थन देतात. वाहक दाट आणि एकसमान वापरुन जास्तीत जास्त पृष्ठभागाच्या फायद्यांसह उच्च-शुद्धता ग्रेफाइटपासून स्ट्रक्चरल फायदे प्रदान करतातSic कोटिंगइष्टतम थर्मल स्थिरता, रासायनिक प्रतिकार आणि कठीण प्रक्रियेच्या परिस्थितीत यांत्रिक सामर्थ्यासाठी.

इष्टतम थर्मल चालकतेसाठी उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट कोर

एसआयसी कोटेड वेफर कॅरियर्स अल्ट्रा-फाईन धान्य, उच्च-शुद्धता ग्रेफाइटची सब्सट्रेट सामग्री आहे. हे एक कार्यक्षम थर्मल कंडक्टर आहे, ते दोन्ही हलके आणि मशीन करण्यायोग्य आहेत, हे जटिल भूमितीमध्ये बनावट केले जाऊ शकते जे अद्वितीय वेफर आकार आणि प्रक्रियेच्या घटकांद्वारे आवश्यक आहे. ग्रॅफाइट थर्मल ग्रेडियंट्स आणि थर्मल प्रोसेसिंग दोषांच्या घटनेस मर्यादित ठेवून वेफर पृष्ठभागावर एकसमान हीटिंग ऑफर करते.

पृष्ठभाग संरक्षण आणि प्रक्रिया सुसंगततेसाठी दाट एसआयसी कोटिंग

ग्रेफाइट कॅरियर उच्च शुद्धता, सीव्हीडी सिलिकॉन कार्बाईडसह लेपित आहे. एसआयसी कोटिंग हायड्रोजन, क्लोरीन आणि सिलेन सारख्या प्रजातींमधून गंज, ऑक्सिडेशन आणि प्रक्रिया वायू दूषिततेपासून अभेद्य, छिद्र मुक्त संरक्षण प्रदान करते. शेवटचा परिणाम एक कमी-प्रेषित, कठोर वाहक आहे जो मितीय स्थिरता कमी होत नाही किंवा गमावत नाही, असंख्य थर्मल चक्रांच्या अधीन राहू शकतो आणि वेफर दूषित होण्याच्या संभाव्यतेचे प्रतिनिधित्व करतो.

फायदे आणि मुख्य वैशिष्ट्ये

थर्मल रेझिस्टन्सः एसआयसी कोटिंग्ज 1600 डिग्री सेल्सियसपेक्षा जास्त तापमानात स्थिर आहेत, जे उच्च तापमान एपिटॅक्सी आणि प्रसार आवश्यकतेसाठी अनुकूलित आहे.

उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोधक: हे सर्व संक्षारक प्रक्रिया वायू आणि साफसफाईच्या रसायनांचा प्रतिकार करते आणि दीर्घ आयुष्य आणि कमी डाउनटाइमसाठी अनुमती देते.

कमी कण निर्मिती: एसआयसी पृष्ठभाग फ्लॅकिंग आणि कण शेडिंग कमी करते आणि डिव्हाइसच्या उत्पन्नासाठी आवश्यक असलेल्या प्रक्रियेचे वातावरण स्वच्छ ठेवते.

परिमाण नियंत्रण: एकसमान वेफर समर्थन सुनिश्चित करण्यासाठी सहिष्णुता बंद करण्यासाठी तंतोतंत इंजिनियर केले जेणेकरून ते स्वयंचलितपणे वेफर्ससह हाताळले जाऊ शकेल.

खर्च कपात: दीर्घ जीवन चक्र आणि कमी देखभाल गरजा पारंपारिक ग्रेफाइट किंवा बेअर कॅरियरपेक्षा मालकीची (टीसीओ) कमी एकूण किंमत प्रदान करतात.

अनुप्रयोग:

एसआयसी लेपित वेफर कॅरियर मोठ्या प्रमाणात पॉवर सेमीकंडक्टर, कंपाऊंड सेमीकंडक्टर (जसे की जीएएन, एसआयसी), एमईएमएस, एलईडी आणि आक्रमक रासायनिक वातावरणात उच्च-तापमान प्रक्रिया आवश्यक असलेल्या इतर उपकरणांच्या निर्मितीमध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरले जातात. ते विशेषत: एपिटॅक्सियल अणुभट्ट्यांमध्ये आवश्यक आहेत, जेथे पृष्ठभाग स्वच्छता, टिकाऊपणा आणि थर्मल एकरूपता थेट वेफर गुणवत्ता आणि उत्पादन कार्यक्षमतेवर प्रभाव पाडते.

सानुकूलन आणि गुणवत्ता नियंत्रण

अर्धसंवाहकSic कोटेडवेफर कॅरियर कठोर गुणवत्ता नियंत्रण प्रोटोकॉल अंतर्गत तयार केले जातात. आमच्याकडे मानक आकार आणि कॉन्फिगरेशनसह लवचिकता देखील आहे आणि आम्ही ग्राहकांच्या आवश्यकता पूर्ण करणारे सानुकूल अभियंता समाधान करू शकतो. आपल्याकडे 4 इंच किंवा 12-इंच वेफर स्वरूप आहे की आम्ही क्षैतिज किंवा उभ्या अणुभट्ट्या, बॅच किंवा सिंगल वेफर प्रोसेसिंग आणि विशिष्ट एपिटॅक्सी रेसिपीसाठी वेफर कॅरियर ऑप्टिमाइझ करू शकतो.