सेमीकोरेक्स एसआयसी कोटिंग फ्लॅट पार्ट हा एसआयसी एपिटॅक्सी प्रक्रियेमध्ये एकसमान एअरफ्लो वाहतुकीसाठी आवश्यक एक-लेपित ग्रेफाइट घटक आहे. सेमीकोरेक्स अर्धसंवाहक उत्पादनासाठी इष्टतम कामगिरी सुनिश्चित करून, न जुळणार्या गुणवत्तेसह अचूक-इंजिनियर्ड सोल्यूशन्स वितरीत करते.*
सेमीकोरेक्स एसआयसी कोटिंग फ्लॅट पार्ट हा एक उच्च-कार्यक्षमता एसआयसी-लेपित ग्रेफाइट घटक आहे जो विशेषतः एसआयसी एपिटॅक्सी प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेला आहे. त्याचे प्राथमिक कार्य एकसमान एअरफ्लो वहन सुलभ करणे आणि एपिटॅक्सियल ग्रोथ स्टेज दरम्यान सुसंगत गॅस वितरण सुनिश्चित करणे आहे, जे एसआयसी सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये एक अपरिहार्य घटक बनते. सेमीकोरेक्स निवडणे सेमीकंडक्टर उद्योगास तयार केलेल्या उत्कृष्ट गुणवत्ता आणि अचूक-इंजिनियर्ड सोल्यूशन्सची हमी देते.
एसआयसी कोटिंग उच्च तापमान, रासायनिक गंज आणि थर्मल विकृतीस अपवादात्मक प्रतिकार प्रदान करते, मागणी वातावरणात दीर्घकाळ टिकणारी कामगिरी सुनिश्चित करते. ग्रेफाइट बेस घटकाची स्ट्रक्चरल अखंडता वाढवते, तर एकसमान एसआयसी कोटिंग संवेदनशील एपिटॅक्सी प्रक्रियेसाठी गंभीर उच्च-शुद्धता पृष्ठभाग सुनिश्चित करते. सामग्रीचे हे संयोजन एसआयसी कोटिंग फ्लॅट भाग एकसमान एपिटॅक्सियल थर साध्य करण्यासाठी आणि एकूण उत्पादन कार्यक्षमतेचे अनुकूलन करण्यासाठी विश्वसनीय समाधान बनवते.
ग्रॅफाइटची उत्कृष्ट थर्मल चालकता आणि स्थिरता एपिटॅक्सियल उपकरणांमध्ये घटक म्हणून महत्त्वपूर्ण फायदे प्रदान करते. तथापि, एकट्या शुद्ध ग्रेफाइटचा वापर केल्यास बर्याच समस्या उद्भवू शकतात. उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान, संक्षारक वायू आणि धातू-सेंद्रिय अवशेष ग्रेफाइट बेस कोरडे आणि खराब होऊ शकतात, ज्यामुळे त्याचे सेवा जीवन लक्षणीय प्रमाणात कमी होते. याव्यतिरिक्त, कोणतीही ग्रेफाइट पावडर पडते, चिप दूषित करू शकते, ज्यामुळे बेस तयार करताना या समस्यांचे निराकरण करणे आवश्यक होते.
कोटिंग तंत्रज्ञान पृष्ठभागाची पावडर निश्चित करून, थर्मल चालकता वाढवून आणि उष्णता वितरणास संतुलित करून प्रभावीपणे या समस्यांना कमी करू शकते. हे तंत्रज्ञान ग्रेफाइट बेसची टिकाऊपणा सुनिश्चित करण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे. अनुप्रयोग वातावरण आणि विशिष्ट वापर आवश्यकतांवर अवलंबून, पृष्ठभाग कोटिंगमध्ये खालील वैशिष्ट्ये असणे आवश्यक आहे:
1. उच्च घनता आणि पूर्ण कव्हरेज: ग्रेफाइट बेस उच्च-तापमान, संक्षारक वातावरणामध्ये कार्यरत आहे आणि पूर्णपणे संरक्षित असणे आवश्यक आहे. प्रभावी संरक्षण देण्यासाठी कोटिंग दाट असणे आवश्यक आहे.
2. चांगली पृष्ठभाग सपाटपणा: सिंगल क्रिस्टल ग्रोथसाठी वापरलेला ग्रेफाइट बेस खूप उच्च पृष्ठभागाच्या सपाटपणाची मागणी करतो. म्हणूनच, कोटिंग प्रक्रियेने बेसची मूळ सपाटपणा राखणे आवश्यक आहे, हे सुनिश्चित करून कोटिंगची पृष्ठभाग एकसमान आहे.
3. मजबूत बंधन शक्ती: ग्रेफाइट बेस आणि कोटिंग सामग्रीमधील बंध सुधारण्यासाठी, थर्मल विस्तार गुणांकातील फरक कमी करणे महत्त्वपूर्ण आहे. ही वाढ ही सुनिश्चित करते की उच्च आणि निम्न-तापमान थर्मल चक्र घेतल्यानंतरही कोटिंग अबाधित राहते.
4. उच्च थर्मल चालकता: इष्टतम चिप वाढीसाठी, ग्रेफाइट बेसने वेगवान आणि एकसमान उष्णता वितरण प्रदान करणे आवश्यक आहे. परिणामी, कोटिंग सामग्रीमध्ये उच्च थर्मल चालकता असावी.
5. उच्च वितळण्याचे बिंदू आणि ऑक्सिडेशन आणि गंजला प्रतिकार: कोटिंग उच्च-तापमान आणि संक्षारक वातावरणात विश्वसनीयरित्या कार्य करण्यास सक्षम असणे आवश्यक आहे.
या मुख्य वैशिष्ट्यांवर लक्ष केंद्रित करून, एपिटॅक्सियल उपकरणांमधील ग्रेफाइट-आधारित घटकांची दीर्घायुष्य आणि कार्यक्षमता लक्षणीय सुधारली जाऊ शकते.
प्रगत मॅन्युफॅक्चरिंग तंत्रासह, सेमीकोरेक्स विशिष्ट प्रक्रिया आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी सानुकूलित डिझाइन वितरीत करते. एसआयसी कोटिंग फ्लॅट पार्टची परिमाणात्मक अचूकता आणि टिकाऊपणासाठी कठोरपणे चाचणी केली जाते, सेमीकंडक्टर सामग्रीमध्ये उत्कृष्टतेसाठी सेमीकोरेक्स वचनबद्धतेचे प्रतिबिंबित करते. मोठ्या प्रमाणात उत्पादन किंवा संशोधन सेटिंग्जमध्ये वापरलेले असो, हा घटक एसआयसी एपिटॅक्सी अनुप्रयोगांमध्ये अचूक नियंत्रण आणि उच्च उत्पन्न सुनिश्चित करते.