Semicorex ने त्याचा SiC डिस्क ससेप्टर सादर केला आहे, जो Epitaxy, मेटल-ऑरगॅनिक केमिकल वाष्प डिपॉझिशन (MOCVD), आणि रॅपिड थर्मल प्रोसेसिंग (RTP) उपकरणांची कार्यक्षमता वाढवण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. काळजीपूर्वक इंजिनिअर केलेले SiC डिस्क ससेप्टर उच्च-तापमान आणि व्हॅक्यूम वातावरणात उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन, टिकाऊपणा आणि कार्यक्षमतेची हमी देणारे गुणधर्म प्रदान करते.**
गुणवत्ता आणि नावीन्यपूर्णतेसाठी सखोल वचनबद्धतेसह, Semicorex चे अल्ट्रा-प्युअर SiC डिस्क ससेप्टर एपिटॅक्सी, MOCVD आणि RTP उपकरणांमधील कामगिरीसाठी एक नवीन मानक सेट करते. अपवादात्मक थर्मल शॉक प्रतिरोध, उत्कृष्ट थर्मल चालकता, उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार आणि अति-उच्च शुद्धता यांचे मिश्रण करून, हे इंजिनियर केलेले घटक सेमीकंडक्टर उत्पादकांना अतुलनीय कार्यक्षमता, विश्वासार्हता आणि उत्पादन गुणवत्ता प्राप्त करण्यास सक्षम करतात. सेमीकोरेक्सचे सानुकूल करण्यायोग्य सोल्यूशन्स हे सुनिश्चित करतात की प्रत्येक थर्मल प्रोसेसिंग ऍप्लिकेशनला त्याच्या अनन्य मागण्या पूर्ण करण्यासाठी डिझाइन केलेल्या ऑप्टिमाइझ, अचूक-इंजिनीयर्ड घटकांचा फायदा होतो.
उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिकार:SiC डिस्क ससेप्टर जलद तापमान चढउतार सहन करण्यास उत्कृष्ट आहे, जे RTP आणि इतर उच्च-तापमान प्रक्रियांमध्ये सामान्य आहेत. हा अपवादात्मक थर्मल शॉक रेझिस्टन्स स्ट्रक्चरल अखंडता आणि दीर्घायुष्य सुनिश्चित करतो, अचानक तापमान बदलांमुळे नुकसान किंवा बिघाड होण्याचा धोका कमी करतो आणि थर्मल प्रोसेसिंग उपकरणांची विश्वासार्हता वाढवतो.
उत्कृष्ट थर्मल चालकता:थर्मल प्रोसेसिंग ऍप्लिकेशन्समध्ये कार्यक्षम उष्णता हस्तांतरण महत्त्वपूर्ण आहे. SiC डिस्क ससेप्टरची उत्कृष्ट थर्मल चालकता जलद आणि एकसमान गरम आणि कूलिंग सुनिश्चित करते, अचूक तापमान नियंत्रण आणि प्रक्रिया एकरूपतेसाठी आवश्यक आहे. यामुळे प्रक्रियेची कार्यक्षमता सुधारते, सायकलचा वेळ कमी होतो आणि उच्च दर्जाचे अर्धसंवाहक वेफर्स बनतात.
अपवादात्मक रासायनिक प्रतिकार:SiC डिस्क ससेप्टर एपिटॅक्सी, MOCVD आणि RTP प्रक्रियांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या संक्षारक आणि प्रतिक्रियाशील रसायनांच्या विस्तृत श्रेणीसाठी उत्कृष्ट प्रतिकार प्रदान करते. हे रासायनिक जडत्व अंतर्निहित ग्रेफाइटचे ऱ्हास होण्यापासून संरक्षण करते, प्रक्रियेचे वातावरण दूषित होण्यापासून प्रतिबंधित करते आणि विस्तारित ऑपरेशनल कालावधीत सातत्यपूर्ण कामगिरी सुनिश्चित करते.
अति-उच्च शुद्धता: SiC डिस्क ससेप्टर ग्रेफाइट आणि SiC कोटिंगसाठी अति-उच्च शुद्धता मानकांनुसार तयार केले जाते, दूषित होण्याची शक्यता टाळून आणि दोषमुक्त अर्धसंवाहक उपकरणांचे उत्पादन सुनिश्चित करते. शुद्धतेसाठी या वचनबद्धतेचा अर्थ उच्च उत्पन्न आणि सुधारित उपकरण कार्यप्रदर्शन आहे.
जटिल आकारांची उपलब्धता:Semicorex मधील प्रगत उत्पादन क्षमता विशिष्ट ग्राहकांच्या गरजेनुसार तयार केलेल्या जटिल आकारांमध्ये SiC डिस्क ससेप्टरचे उत्पादन करण्यास अनुमती देतात. ही लवचिकता सानुकूल सोल्यूशन्सची रचना सक्षम करते जी विविध थर्मल प्रोसेसिंग ऍप्लिकेशन्सच्या अचूक गरजा पूर्ण करते, प्रक्रियेची कार्यक्षमता आणि उपकरणे सुसंगतता वाढवते.
ऑक्सिडायझिंग वातावरणात वापरण्यायोग्य:मजबूत CVD SiC कोटिंग ऑक्सिडेशनपासून उत्कृष्ट संरक्षण प्रदान करते, ज्यामुळे SiC डिस्क ससेप्टरला ऑक्सिडायझिंग वातावरणात विश्वसनीयरित्या कार्य करण्यास अनुमती मिळते. हे थर्मल प्रक्रियांच्या विस्तृत श्रेणीमध्ये त्यांची लागूक्षमता विस्तृत करते, बहुमुखीपणा आणि अनुकूलता सुनिश्चित करते.
बळकट, पुनरावृत्ती करण्यायोग्य कामगिरी:उच्च-तापमान आणि व्हॅक्यूम वातावरणासाठी डिझाइन केलेले, SiC डिस्क ससेप्टर मजबूत आणि पुनरावृत्ती करण्यायोग्य कार्यप्रदर्शन देते. त्याची टिकाऊपणा आणि सातत्य त्यांना गंभीर थर्मल प्रोसेसिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी आदर्श बनवते, डाउनटाइम कमी करते, देखभाल खर्च कमी करते आणि दीर्घकालीन ऑपरेशनल विश्वासार्हता सुनिश्चित करते.
सेमिकोरेक्स थर्मल प्रोसेसिंग उपकरणांच्या विविध गरजा पूर्ण करण्यासाठी CVD SiC-कोटेड घटक सानुकूलित करण्यात माहिर आहे, यासह:
डिफ्यूझर्स:गॅस वितरणाची एकसमानता आणि प्रक्रिया सुसंगतता वाढवा.
इन्सुलेटर:उच्च-तापमान वातावरणात थर्मल अलगाव आणि संरक्षण प्रदान करा.
इतर सानुकूल थर्मल घटक:विशिष्ट प्रक्रिया आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी आणि उपकरणांचे कार्यप्रदर्शन ऑप्टिमाइझ करण्यासाठी डिझाइन केलेले अनुरूप समाधान.