Semicorex SiC मल्टी पॉकेट ससेप्टर उच्च-गुणवत्तेच्या सेमीकंडक्टर वेफर्सच्या एपिटॅक्सियल वाढीमध्ये महत्त्वपूर्ण सक्षम तंत्रज्ञानाचे प्रतिनिधित्व करते. अत्याधुनिक रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) प्रक्रियेद्वारे तयार केलेले, हे ससेप्टर्स अपवादात्मक एपिटॅक्सियल लेयर एकरूपता आणि प्रक्रिया कार्यक्षमता प्राप्त करण्यासाठी एक मजबूत आणि उच्च-कार्यक्षमता व्यासपीठ प्रदान करतात.**
Semicorex SiC मल्टी पॉकेट ससेप्टरचा पाया अति-उच्च शुद्धता समस्थानिक ग्रेफाइट आहे, जो थर्मल स्थिरता आणि थर्मल शॉकच्या प्रतिकारासाठी प्रसिद्ध आहे. काळजीपूर्वक नियंत्रित CVD-जमा केलेल्या SiC कोटिंगच्या वापराद्वारे हे बेस मटेरियल आणखी वाढवले जाते. हे संयोजन गुणधर्मांची एक अद्वितीय समन्वय प्रदान करते:
अतुलनीय रासायनिक प्रतिकार:SiC पृष्ठभागावरील थर ऑक्सिडेशन, गंज आणि रासायनिक आक्रमणास अपवादात्मक प्रतिकार दर्शविते अगदी उच्च तापमानात देखील एपिटॅक्सियल वाढ प्रक्रियांमध्ये अंतर्भूत आहे. या जडत्वामुळे SiC मल्टी पॉकेट ससेप्टर त्याची स्ट्रक्चरल अखंडता आणि पृष्ठभागाची गुणवत्ता राखते, दूषित होण्याचा धोका कमी करते आणि विस्तारित ऑपरेशनल आयुर्मान सुनिश्चित करते.
अपवादात्मक थर्मल स्थिरता आणि एकरूपता:आयसोट्रॉपिक ग्रेफाइटची अंतर्निहित स्थिरता, एकसमान SiC कोटिंगसह, ससेप्टर पृष्ठभागावर समान उष्णता वितरणाची हमी देते. एपिटॅक्सी दरम्यान संपूर्ण वेफरमध्ये एकसंध तापमान प्रोफाइल साध्य करण्यासाठी ही एकसमानता सर्वोपरि आहे, थेट क्रिस्टल वाढ आणि फिल्म एकरूपतेमध्ये अनुवादित करते.
वर्धित प्रक्रिया कार्यक्षमता:SiC मल्टी पॉकेट ससेप्टरची मजबुती आणि दीर्घायुष्य प्रक्रियेच्या कार्यक्षमतेत वाढ करण्यास योगदान देते. साफसफाई किंवा बदलीसाठी कमी केलेला डाउनटाइम उच्च थ्रुपुटमध्ये अनुवादित करतो आणि मालकीची कमी एकूण किंमत, अर्धसंवाहक फॅब्रिकेशन वातावरणाची मागणी करणारे महत्त्वपूर्ण घटक.
SiC मल्टी पॉकेट ससेप्टरचे उत्कृष्ट गुणधर्म थेट एपिटॅक्सियल वेफर फॅब्रिकेशनमधील मूर्त फायद्यांमध्ये भाषांतरित करतात:
सुधारित वेफर गुणवत्ता:वर्धित तापमान एकसमानता आणि रासायनिक जडत्व कमी दोष आणि सुधारित क्रिस्टल गुणवत्तेमध्ये एपिटॅक्सियल लेयरमध्ये योगदान देते. हे अंतिम सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या सुधारित कार्यप्रदर्शन आणि उत्पन्नामध्ये थेट अनुवादित करते.
वाढलेले उपकरण कार्यप्रदर्शन:एपिटॅक्सी दरम्यान डोपिंग प्रोफाइल आणि लेयर जाडीवर अचूक नियंत्रण मिळविण्याची क्षमता डिव्हाइस कार्यप्रदर्शन ऑप्टिमाइझ करण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे. SiC मल्टी पॉकेट ससेप्टर द्वारे प्रदान केलेले स्थिर आणि एकसमान प्लॅटफॉर्म उत्पादकांना विशिष्ट अनुप्रयोगांसाठी उपकरण वैशिष्ट्ये चांगले-ट्यून करण्यास सक्षम करते.
प्रगत अनुप्रयोग सक्षम करणे:सेमीकंडक्टर उद्योग लहान उपकरण भूमिती आणि अधिक जटिल आर्किटेक्चर्सकडे ढकलत असताना, उच्च-कार्यक्षमता असलेल्या एपिटॅक्सियल वेफर्सची मागणी सतत वाढत आहे. सेमिकोरेक्स SiC मल्टी पॉकेट ससेप्टर अचूक आणि पुनरावृत्ती करण्यायोग्य एपिटॅक्सियल वाढीसाठी आवश्यक व्यासपीठ प्रदान करून या प्रगती सक्षम करण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते.