ICP Etch साठी SiC ससेप्टर

ICP Etch साठी Semicorex SiC Susceptor उच्च दर्जाचे आणि सातत्य राखण्यावर लक्ष केंद्रित करून तयार केले आहे. हे ससेप्टर्स तयार करण्यासाठी वापरल्या जाणाऱ्या मजबूत उत्पादन प्रक्रियेमुळे प्रत्येक बॅच कठोर कार्यप्रदर्शन निकष पूर्ण करते, सेमीकंडक्टर एचिंगमध्ये विश्वासार्ह आणि सातत्यपूर्ण परिणाम प्रदान करते. याव्यतिरिक्त, Semicorex जलद वितरण वेळापत्रक प्रदान करण्यासाठी सुसज्ज आहे, जे सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या जलद टर्नअराउंड मागण्यांशी ताळमेळ राखण्यासाठी, गुणवत्तेशी तडजोड न करता उत्पादन वेळेची पूर्तता सुनिश्चित करण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे. आम्ही Semicorex येथे उच्च-कार्यक्षमता उत्पादन आणि पुरवठ्यासाठी समर्पित आहोत. ICP Etch साठी SiC ससेप्टर जो किमती-कार्यक्षमतेसह गुणवत्तेला जोडतो.**

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

ICP Etch साठी Semicorex SiC ससेप्टर त्याच्या उत्कृष्ट थर्मल चालकतेसाठी प्रसिद्ध आहे, जे संपूर्ण पृष्ठभागावर जलद आणि एकसमान उष्णता वितरणास अनुमती देते. हे वैशिष्ट्य नक्षीकाम प्रक्रियेदरम्यान सातत्यपूर्ण तापमान राखण्यासाठी, नमुना हस्तांतरणामध्ये उच्च अचूकता सुनिश्चित करण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे. याव्यतिरिक्त, SiC चे थर्मल विस्ताराचे कमी गुणांक वेगवेगळ्या तापमानात मितीय बदल कमी करते, अशा प्रकारे संरचनात्मक अखंडता राखते आणि अचूक आणि एकसमान सामग्री काढण्यास समर्थन देते.

ICP Etch साठी SiC ससेप्टरच्या स्टँडआउट गुणधर्मांपैकी एक म्हणजे त्यांचा प्लाझ्मा प्रभावाचा प्रतिकार. हे प्रतिकार हे सुनिश्चित करते की प्लाझ्मा बॉम्बर्डमेंटच्या कठोर परिस्थितीत ससेप्टर खराब होत नाही किंवा क्षीण होत नाही, जे या एचिंग प्रक्रियेमध्ये सामान्य आहे. ही टिकाऊपणा नक्षीकाम प्रक्रियेची विश्वासार्हता वाढवते आणि कमीत कमी दोषांसह स्वच्छ, सु-परिभाषित नक्षीदार नमुन्यांची निर्मिती करण्यास हातभार लावते.

ICP Etch साठी SiC ससेप्टर मूळतः मजबूत ऍसिडस् आणि अल्कली द्वारे गंजण्यास प्रतिरोधक आहे, जो ICP एचिंग वातावरणात वापरल्या जाणाऱ्या सामग्रीसाठी एक आवश्यक गुणधर्म आहे. हे रासायनिक प्रतिकार हे सुनिश्चित करते की ICP Etch साठी SiC ससेप्टर आक्रमक रासायनिक अभिकर्मकांच्या संपर्कात असताना देखील कालांतराने त्यांचे भौतिक आणि यांत्रिक गुणधर्म राखतात. या टिकाऊपणामुळे वारंवार बदलण्याची आणि देखभाल करण्याची गरज कमी होते, ज्यामुळे ऑपरेशनल खर्च कमी होतो आणि सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशन सुविधांचा अपटाइम वाढतो.

ICP Etch साठी Semicorex SiC ससेप्टर विशिष्ट मितीय आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी अचूकपणे इंजिनियर केले जाऊ शकते, जे सेमीकंडक्टर उत्पादनातील एक महत्त्वपूर्ण घटक आहे जेथे विविध वेफर आकार आणि प्रक्रिया वैशिष्ट्यांना सामावून घेण्यासाठी अनेकदा सानुकूलनाची आवश्यकता असते. ही अनुकूलता विद्यमान उपकरणे आणि प्रक्रिया ओळींसह चांगले एकीकरण करण्यास अनुमती देते, एचिंग प्रक्रियेची एकूण कार्यक्षमता आणि परिणामकारकता अनुकूल करते.