SiC कोटिंग हा रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) प्रक्रियेद्वारे ससेप्टरवर एक पातळ थर असतो. सिलिकॉन कार्बाइड मटेरियल सिलिकॉनवर अनेक फायदे प्रदान करते, ज्यामध्ये 10x ब्रेकडाउन इलेक्ट्रिक फील्ड स्ट्रेंथ, 3x द बँड गॅप, जे सामग्रीला उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिकार, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध तसेच थर्मल चालकता प्रदान करते.
सेमीकोरेक्स सानुकूलित सेवा प्रदान करते, जास्त काळ टिकणारे घटक, सायकलचा कालावधी कमी आणि उत्पन्न सुधारण्यासाठी तुम्हाला नवनिर्मिती करण्यात मदत करते.
SiC कोटिंगचे अनेक अद्वितीय फायदे आहेत
उच्च तापमान प्रतिकार: CVD SiC कोटेड ससेप्टर लक्षणीय थर्मल ऱ्हास न करता 1600°C पर्यंत उच्च तापमानाचा सामना करू शकतो.
रासायनिक प्रतिकार: सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग आम्ल, अल्कली आणि सेंद्रिय सॉल्व्हेंट्ससह विस्तृत रसायनांना उत्कृष्ट प्रतिकार प्रदान करते.
पोशाख प्रतिरोध: SiC कोटिंग उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोधासह सामग्री प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च झीज आणि झीज असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी योग्य बनते.
थर्मल चालकता: CVD SiC कोटिंग उच्च थर्मल चालकता असलेली सामग्री प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च-तापमान अनुप्रयोगांमध्ये वापरण्यासाठी योग्य बनते ज्यासाठी कार्यक्षम उष्णता हस्तांतरण आवश्यक असते.
उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा: सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टर सामग्रीला उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च यांत्रिक शक्ती आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी योग्य बनते.
SiC कोटिंग विविध अनुप्रयोगांमध्ये वापरली जाते
LED उत्पादन: CVD SiC कोटेड ससेप्टरचा वापर त्याच्या उच्च थर्मल चालकता आणि रासायनिक प्रतिकारामुळे, निळ्या आणि हिरव्या एलईडी, UV LED आणि खोल-UV LED सह विविध प्रकारच्या LED प्रक्रिया केलेल्या उत्पादनात केला जातो.
मोबाइल कम्युनिकेशन: GaN-on-SiC एपिटॅक्सियल प्रक्रिया पूर्ण करण्यासाठी CVD SiC कोटेड ससेप्टर हा HEMT चा एक महत्त्वाचा भाग आहे.
सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग: CVD SiC कोटेड ससेप्टरचा वापर सेमीकंडक्टर उद्योगात वेफर प्रोसेसिंग आणि एपिटॅक्सियल ग्रोथसह विविध अनुप्रयोगांसाठी केला जातो.
SiC लेपित ग्रेफाइट घटक
सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग (SiC) ग्रेफाइटद्वारे बनविलेले, कोटिंग सीव्हीडी पद्धतीने उच्च घनतेच्या ग्रेफाइटच्या विशिष्ट ग्रेडवर लागू केले जाते, त्यामुळे ते अक्रिय वातावरणात 3000 डिग्री सेल्सियसपेक्षा जास्त तापमान असलेल्या भट्टीत, व्हॅक्यूममध्ये 2200 डिग्री सेल्सियस काम करू शकते. .
विशेष गुणधर्म आणि सामग्रीचे कमी वस्तुमान जलद गरम दर, एकसमान तापमान वितरण आणि नियंत्रणात उत्कृष्ट अचूकता देते.
सेमिकोरेक्स SiC कोटिंगचा मटेरियल डेटा
वैशिष्ट्यपूर्ण गुणधर्म |
युनिट्स |
मूल्ये |
रचना |
|
FCC β फेज |
अभिमुखता |
अपूर्णांक (%) |
111 ला प्राधान्य दिले |
मोठ्या प्रमाणात घनता |
g/cm³ |
3.21 |
कडकपणा |
विकर्स कडकपणा |
2500 |
उष्णता क्षमता |
J kg-1 K-1 |
640 |
थर्मल विस्तार 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300℃) |
430 |
धान्य आकार |
μm |
२~१० |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल सामर्थ्य |
MPa (RT 4-पॉइंट) |
415 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
निष्कर्ष CVD SiC कोटेड ससेप्टर ही एक संमिश्र सामग्री आहे जी ससेप्टर आणि सिलिकॉन कार्बाइडचे गुणधर्म एकत्र करते. या सामग्रीमध्ये उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिकार, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध, उच्च थर्मल चालकता आणि उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा यासह अद्वितीय गुणधर्म आहेत. हे गुणधर्म सेमीकंडक्टर प्रक्रिया, रासायनिक प्रक्रिया, उष्णता उपचार, सौर सेल उत्पादन आणि एलईडी उत्पादनासह विविध उच्च-तापमान अनुप्रयोगांसाठी एक आकर्षक सामग्री बनवतात.
ICP एचिंग प्रक्रियेसाठी सेमीकोरेक्सची SiC प्लेट पातळ फिल्म डिपॉझिशन आणि वेफर हाताळणीसाठी उच्च-तापमान आणि कठोर रासायनिक प्रक्रियेसाठी योग्य उपाय आहे. आमचे उत्पादन उच्च उष्णता प्रतिरोधकता आणि अगदी थर्मल एकरूपतेचा अभिमान बाळगते, सुसंगत एपि लेयर जाडी आणि प्रतिकार सुनिश्चित करते. स्वच्छ आणि गुळगुळीत पृष्ठभागासह, आमची उच्च-शुद्धता SiC क्रिस्टल कोटिंग मूळ वेफर्ससाठी इष्टतम हाताळणी प्रदान करते.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाSemicorex SiC Coated ICP Etching Carrier विशेषत: चीनमध्ये उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधक असलेल्या एपिटॅक्सी उपकरणांसाठी इंजिनिअर केलेले आहे. आमच्या उत्पादनांचा किमतीचा चांगला फायदा आहे आणि त्यामध्ये अनेक युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारांचा समावेश होतो. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाPSS Etching साठी Semicorex चे Etching Carrier Holder हे सर्वात जास्त मागणी असलेल्या एपिटॅक्सी उपकरणांच्या ऍप्लिकेशन्ससाठी इंजिनियर केलेले आहे. आमचे अल्ट्रा-प्युअर ग्रेफाइट वाहक कठोर वातावरण, उच्च तापमान आणि कठोर रासायनिक साफसफाईचा सामना करू शकतात. SiC लेपित वाहक उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म, उच्च थर्मल चालकता आणि किफायतशीर आहे. आमची उत्पादने बऱ्याच युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारपेठांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरली जातात आणि आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाSemicorex चे PSS हँडलिंग कॅरियर फॉर वेफर ट्रान्सफर हे सर्वात जास्त मागणी असलेल्या एपिटॅक्सी उपकरणे ऍप्लिकेशन्ससाठी इंजिनियर केलेले आहे. आमचे अल्ट्रा-प्युअर ग्रेफाइट वाहक कठोर वातावरण, उच्च तापमान आणि कठोर रासायनिक साफसफाईचा सामना करू शकतात. SiC लेपित वाहक उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म, उच्च थर्मल चालकता आणि किफायतशीर आहे. आमची उत्पादने बऱ्याच युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारपेठांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरली जातात आणि आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाPSS एचिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी सेमीकोरेक्सची सिलिकॉन इच प्लेट उच्च-गुणवत्तेची, अल्ट्रा-शुद्ध ग्रेफाइट वाहक आहे जी विशेषत: एपिटॅक्सियल वाढ आणि वेफर हाताळणी प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेली आहे. आमचा वाहक कठोर वातावरण, उच्च तापमान आणि कठोर रासायनिक साफसफाईचा सामना करू शकतो. PSS एचिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी सिलिकॉन इच प्लेटमध्ये उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म, उच्च थर्मल चालकता आणि किफायतशीर आहे. आमची उत्पादने बऱ्याच युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारपेठांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरली जातात आणि आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवावेफर प्रोसेसिंगसाठी Semicorex चे PSS Etching Carrier Tra विशेषत: मागणी असलेल्या एपिटॅक्सी उपकरणांच्या ऍप्लिकेशनसाठी डिझाइन केले आहे. आमचा अल्ट्रा-प्युअर ग्रेफाइट वाहक MOCVD, एपिटॅक्सी ससेप्टर्स, पॅनकेक किंवा सॅटेलाइट प्लॅटफॉर्म आणि वेफर हाताळणी प्रक्रिया जसे की एचिंगसारख्या पातळ-फिल्म डिपॉझिशन टप्प्यांसाठी आदर्श आहे. वेफर प्रोसेसिंगसाठी PSS एचिंग कॅरियर ट्रेमध्ये उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधक, उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आणि उच्च थर्मल चालकता आहे. आमची उत्पादने किफायतशीर आहेत आणि किंमतीचा चांगला फायदा आहे. आम्ही बऱ्याच युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारपेठांची पूर्तता करतो आणि चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवा