ग्रिडसह ससेप्टर

सेमीकोरेक्स ससेप्टर विथ ग्रिड हा एक विशेष घटक आहे जो सेमीकंडक्टर वेफर्सच्या एपिटॅक्सियल वाढ प्रक्रियेत वापरला जातो. मेटल-ऑरगॅनिक केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (MOCVD) सिस्टीममध्ये सामग्री जमा करताना वेफर्सला वाहून नेण्यासाठी आणि समर्थन देण्यासाठी उपकरणांचा हा महत्त्वपूर्ण भाग तयार केला गेला आहे. सेमीकंडक्टर वेफरवरील एपिटॅक्सियल लेयरची एकसमान आणि नियंत्रित वाढ सुनिश्चित करण्यासाठी ग्रिडसह ससेप्टर महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते.

ग्रिडसह ससेप्टर त्याच्या कार्यासाठी ऑप्टिमाइझ केलेल्या सामग्रीसह तयार केले आहे. या प्रकरणात, ते MOCVD SiC (मेटल-ऑरगॅनिक केमिकल वाष्प डिपॉझिशन सिलिकॉन कार्बाइड) लेपित ग्रेफाइटचे बनलेले आहे. सामग्रीची ही निवड उच्च-तापमान प्रतिरोध, रासायनिक स्थिरता आणि उत्कृष्ट थर्मल चालकता यासह अनेक फायदे प्रदान करते. ग्रेफाइटवरील SiC कोटिंग एपिटॅक्सियल वाढीच्या प्रक्रियेदरम्यान उद्भवलेल्या कठोर परिस्थितींना ससेप्टरची टिकाऊपणा आणि प्रतिकार वाढवते.

ग्रिड संरचनेसह ससेप्टर सेमीकंडक्टर वेफर्ससाठी समर्थन यंत्रणा म्हणून काम करते. वायूंचा कार्यक्षम प्रवाह आणि सामग्रीचे एकसमान संचयन करण्यास अनुमती देताना वेफर्स सुरक्षितपणे ठिकाणी ठेवण्यासाठी ते रणनीतिकदृष्ट्या डिझाइन केलेले आहे. ग्रिड पॅटर्न उष्णता आणि अभिक्रियाकांना वेफरच्या पृष्ठभागावर समान रीतीने वितरीत करण्यास मदत करते, एपिटॅक्सियल लेयरची जाडी आणि रचना यांच्या अचूक नियंत्रणात योगदान देते.

सेमीकोरेक्स ससेप्टर विथ ग्रिड हा प्रगत सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मिती प्रक्रियेतील एक महत्त्वाचा घटक आहे. त्याचे मजबूत बांधकाम आणि विशेष डिझाइन हे उच्च-गुणवत्तेचे एपिटॅक्सियल वाढ साध्य करण्यासाठी, उत्कृष्ट कामगिरी आणि विश्वासार्हतेसह सेमीकंडक्टरचे उत्पादन सुनिश्चित करण्यासाठी एक आवश्यक साधन बनवते.