8-इंच वेफरहोल्डर रिंग्ज

सेमीकोरेक्स 8-इंच वेफरहोल्डर रिंग्ज महत्त्वपूर्ण थर्मल, एचिंग आणि जमा प्रक्रियेद्वारे सुरक्षितपणे सिलिकॉन वेफर्स सुरक्षित आणि समर्थन देण्यासाठी हार्डवेअर कटिंग-एज सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग हार्डवेअर आहेत. दाट सह उच्च-गुणवत्तेच्या ग्रेफाइटपासून तयार केलेलेसिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) चे कोटिंगजोडलेल्या सामर्थ्यासाठी, वेफर धारक रिंग उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, रासायनिक प्रतिकार आणि यांत्रिक सामर्थ्य प्राप्त करते, सीव्हीडी (केमिकल वाफ जमा), पीईसीव्हीडी आणि एपिटॅक्सी सिस्टम सारख्या उच्च-तापमान आणि संक्षारक वातावरणात वापरण्यासाठी त्यास आदर्श बनवते.

मुख्य वैशिष्ट्ये:

भौतिक रचना:

सब्सट्रेट सामग्री आहेउच्च-शुद्धता ग्रेफाइट, जी उच्च औष्णिक चालकता आणि स्ट्रक्चरल एकसमानतेसाठी निवडली गेली आहे. उच्च घनता आणि एकसमानसिलिकॉन कार्बाइड (एसआयसी) फिल्म कोटिंगपृष्ठभागावर लागू केले जाते, ऑक्सिडेशन आणि रासायनिक हल्ल्याचा उच्च प्रतिकार दर्शविला जातो. मिश्रणात दीर्घ कालावधीचे शेल्फ लाइफ आणि वेफर्सच्या दूषित होण्याचा कमीतकमी जोखीम आहे.

सुरक्षित वेफर पोझिशनिंग

विशेषत: 8 इंच (200 मिमी) वेफर्स ठेवण्यासाठी डिझाइन केलेले, वेफरहोल्डर रिंगमध्ये वेफर सुरक्षितपणे पकडण्यासाठी अचूक सहिष्णुता आणि चांगल्या प्रकारे डिझाइन केलेले अंतर्गत भूमिती असते. थर्मल सायकलिंग आणि गॅस प्रवाह दरम्यान रिंग स्थितीत स्थिर राहते, सूक्ष्म-चळवळी कमी करते ज्यामुळे कण निर्मिती किंवा वेफर ब्रेक होऊ शकते.

थर्मल एकरूपता:

ग्रेफाइट सब्सट्रेटची मूळ थर्मल चालकता आणि एसआयसी कोटिंगची स्थिरता वेफर पृष्ठभागावर सुसंगत उष्णता हस्तांतरण सुनिश्चित करते. याचा परिणाम सुसंगत प्रक्रियेचा परिणाम, थर्मल ताण कमी झाला आणि चांगले डिव्हाइस उत्पन्न.

रासायनिक आणि प्लाझ्मा प्रतिकार:

एसआयसी पृष्ठभाग कठोर प्रक्रिया प्लाझ्मा आणि वायूंपासून ग्रेफाइट कोरचे संरक्षण करते, पुनरावृत्ती प्रक्रिया चक्रांना प्रतिकार करते. रासायनिक जडत्व विशेषत: संक्षारक हलोजन-युक्त इम्पेन्ट किंवा रिअॅक्टिव्ह गॅस वातावरणात फायदेशीर आहे.

सानुकूलन उपलब्ध:

विशिष्ट उपकरणे किंवा प्रक्रियेच्या आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी 8 इंच वेफरहोल्डर रिंग्ज सानुकूल-डिझाइन केल्या जाऊ शकतात, म्हणजेच, एज सपोर्ट डिझाइनमधील भिन्नता, स्लॉटचे स्थान आणि माउंटिंग कॉन्फिगरेशन. आमचे डिझाइनर प्रत्येक वापरासाठी शक्यतो उच्च कार्यक्षमता प्रदान करण्यासाठी OEM आणि फॅबसह कार्य करतात.

अनुप्रयोग:

• एलपीसीव्हीडी / पीईसीव्हीडी / एपीसीव्हीडी
• एपिटॅक्सियल ग्रोथ प्रक्रिया
• प्रसार फर्नेसेस
• उच्च-तापमान ne नीलिंग
• इतर सेमीकंडक्टर थर्मल प्रोसेसिंग सिस्टम

प्रत्येक 8-इंचाच्या वेफरहोल्डर रिंग्जमध्ये परिमाण अचूकता सत्यापन, कोटिंग आसंजन चाचणी आणि थर्मल सायकलिंग पात्रता यासारख्या कठोर तपासणीत असतात. आमचे प्रगत मॅन्युफॅक्चरिंग तंत्रज्ञान सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या उच्च मागणी पूर्ण करण्यासाठी एकसमान एसआयसी कोटिंगची जाडी आणि उत्कृष्ट पृष्ठभागाची समाप्ती सुनिश्चित करते.

सेमीकोरेक्स 8-इंच वेफरहोल्डर रिंग्ज (एसआयसी-लेपित ग्रेफाइट) पुढील पिढीतील सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी एक आवश्यक उपकरणे आहेत, ज्यामुळे यांत्रिक सुस्पष्टता, सामग्री टिकाऊपणा आणि रासायनिक स्थिरता प्रदान करते. प्रक्रिया उपकरणांच्या श्रेणीसुधारणेपासून पुढील पिढीच्या वेफर प्लॅटफॉर्मच्या बांधकामापर्यंत, हे उत्पादन आजच्या मागणीचे उत्पादन वातावरण सक्षम करण्यासाठी आवश्यक विश्वसनीयता आणि कार्यक्षमता प्रदान करते.